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축전 결합형 플라즈마원에 대한 전자기장의 2차원 공간 의존성 계산
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .02
대면적/고주파 축전결합 플라즈마에서의 플라즈마 불균일 현상 및 이의 극복
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .08
대면적 축전결합형 플라즈마원에서 도파관 모델을 이용한 플라즈마 특성 분포의 정상파 패턴 형성 해석
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .02
축전 결합 플라즈마에서 인덕터 종단에 의한 플라즈마 z축 밀도 분포 영향
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
유도 결합 플라즈마원의 외부 냉각에 관한 수치 모델링
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
유체모델을 기반으로 하는 TCP/ICP 플라즈마원 시뮬레이터 개발현황
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .02
축전 결합 플라즈마 소스 안에서의 Sheath 렌즈 효과의 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .08
O₂와 Ar의 축전 결합 플라즈마에서 전자와 이온 거동에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2004 .02
축전결합플라즈마의 전자가열 연구와 응용
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .08
축전결합형 고주파 BCl₃/He 플라즈마를 이용한 GaAs와 AlGaAs의 건식식각
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .08
축전 결합 플라즈마에서 병렬 인덕터를 이용한 플라즈마 발생 효율 향상
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
축전 결합형 플라즈마원에 대한 전자기장의 2차원 공간 의존성 계산
Applied Science and Convergence Technology
2008 .09
내장형 선형 유도결합 플라즈마를 이용한 대면적 플라즈마 공정에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2007 .08
CF₄/O₂ 가스를 사용한 평판 디스플레이 식각용 대면적 유도 결합 플라즈마의 전산모사
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .08
대면적 페라이트 유도결합플라즈마 소스에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .02
대면적 페라이트 유도결합플라즈마 소스에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .02
대면적 플라즈마 공정을 위한 자장이 인가된 내장형 선형 유도결합형 플라즈마에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2003 .02
전자와 이온의 에너지 분포 함수를 고려한 축전 결합형 플라즈마 장비의 방전 시뮬레이션
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .02
유체시뮬레이션을 통한 대면적 유도결합 플라즈마의 최적화에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
유체시뮬레이션을 통한 대면적 유도결합 플라즈마의 최적화 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .02
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