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유체 모델을 기반으로 하는 유도 결합 플라즈마 시뮬레이터 개발 현황
Applied Science and Convergence Technology
2009 .05
축전 결합형 플라즈마원에 대한 전자기장의 2차원 공간 의존성 계산
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .02
대면적 고주파 축전결합플라즈마원(CCP sources)에 대한 모델링 및 전산모사 현황 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .08
유도 결합 플라즈마원의 외부 냉각에 관한 수치 모델링
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
안테나 구조 변화에 따른 디스플레이 공정용 ICP 장비의 플라즈마 시뮬레이션
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .08
대면적 축전결합형 플라즈마원에서 도파관 모델을 이용한 플라즈마 특성 분포의 정상파 패턴 형성 해석
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .02
ICP와 헬리콘 플라즈마를 이용한 대면적 고밀도 플라즈마 소스 개발
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .08
Internal Linear Antenna를 이용한 ICP 플라즈마에서의 균일도 향상을 위한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .02
유도 결합 플라즈마(ICP)에서의 구동주파수 의존성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
ICP-MS와 LA-ICP-MS를 이용한 보다 효율적인 미량원소 분석법 연구
대한지질학회 학술대회
2013 .10
ICP 플라즈마에서 바이어스파워가 전자밀도에 미치는 영향에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2006 .02
Rare Earth Elements analysis in monazite using Na2O2 sintering and by ICP-MS and ICP-OES
한국분석과학회 학술대회
2015 .11
CF4/O2 Gas를 사용한 디스플레이용 ICP 장비의 플라즈마 시뮬레이션
한국진공학회 학술발표회초록집
2014 .02
다양한 공정 주파수에서 유도 결합 플라즈마의 플라즈마 밀도와 에너지 전달 효율 측정
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .02
유체 플라즈마 적용을 통한 고분산 금 나노분말 제조에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .02
병렬 안테나에 따른 플라즈마원의 균일도 연구
Applied Science and Convergence Technology
1998 .08
플라즈마 장비 해석을 위한 유체 기반 오픈 소스 코드 개발
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
반도체 플라즈마 공정 전문가 육성을 위한 교육용 시뮬레이터(K-Plasma)
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .08
중성입자빔과 ICP 플라즈마로 성장시킨 SiON 박막의 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .08
유도결합플라즈마 식각 장비에서 안테나와 웨이퍼간 거리 차에 따른 플라즈마 변화 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .02
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