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이온빔보조증착에 의한 TiN 박막의 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
1997 .02
고온에서 Sputtering한 TiN 박막의 증착조건에 따른 특성변화
한국진공학회 학술발표회초록집
1995 .02
스퍼터링 증착변수에 따른 SKD 61강 기판상 TiN 박막의 증착거동 변화
Applied Science and Convergence Technology
1998 .11
빗각 증착으로 제조된 TiN 박막의 스트레스 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
빗각 증착으로 제조된 TiN 박막의 스트레스 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .02
공정 조건 변화에 따른 TiN 코팅층의 물성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
W - TiN 복층 전극 소자에서 TiN 박막 형성 조건에 따른 특성 분석
Applied Science and Convergence Technology
2001 .07
유기금속전구체를 이용하여 플라즈마 원자층 증착법으로 증착된 TaN과 TiN 박막의 물성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2002 .06
스퍼터링 소스를 이용하여 빗각 증착되어진 TiN 박막의 형상 및 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
TiN 박막의 N₂ / Ar 비율 및 열처리 조건에 따른 W - TiN 복층 게이트의 특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2000 .07
빗각코팅 증착법으로 코팅된 TiN 박막의 특성연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2014 .08
전자빔 증착법에 의한 Indium Tin Oxide박막의 증착속도에 따른 광학적 물성변화
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .08
PVD 방법에 의한 TiN barrier metal 형성과 공정개발
Applied Science and Convergence Technology
1997 .08
TiN박막형성에 미치는 ion beam조사효과
한국진공학회 학술발표회초록집
1998 .02
유기막 위에 증착된 저온 ITO(Indium Tin Oxide) 박막의 식각특성
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .07
질소 이온빔이 TiN 박막의 형성에 미치는 영향
한국진공학회 학술발표회초록집
1997 .07
Batch - Type 원자층 증착 방법으로 형성한 실리콘 질화막의 특성
Applied Science and Convergence Technology
2003 .12
이온빔을 이용한 TiN 박막 합성 및 내마모특성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1994 .02
High Density Plasma Sputtering System (HIPASS) 방법을 통한 TiN 박막 증착 및 특성 평가
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .02
자유연소아크 시스템에서 아크-전극 결합 모델의 3차원 수치해석
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
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