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학술대회자료
저자정보
정성진 (청주대학교) 김덕규 (공주대학교) 김홍배 (청주대학교)
저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제38회 동계정기학술대회 프로그램집
발행연도
2010.2
수록면
203 - 203 (1page)

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2010

RF magnetron sputtering으로 제작된 ITO 박막의 공정압력 변화에 따른 특성
정성진 ,  김덕규 ,  김홍배 한국진공학회 학술발표회초록집 2010.02 학술대회자료
RF 마그네트론 스퍼터링법으로 제작된 ITO 박막의 공정압력 변화에 따른 특성
정성진 ,  김덕규 ,  김홍배 반도체디스플레이기술학회지 2010.01 학술저널

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