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저자정보
탁봉열 (디에이치엠) 김병덕 (한국기계연구원) 양해결 (TIE기술사사무소) 한기영 (디에이치엠)
저널정보
한국유체기계학회 한국유체기계학회 학술대회 논문집 유체기계공업학회 2010 유체기계 연구개발 발표회
발행연도
2010.12
수록면
25 - 30 (6page)

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이 논문의 연구 히스토리 (3)

2011

루츠형 중진공펌프 국산화 개발
탁봉열 ,  김병덕 ,  양해경 외 2명 한국유체기계학회 논문집 2011.06 학술저널

2010

루츠형 중진공펌프 국산화 개발
탁봉열 ,  김병덕 ,  양해결 외 1명 한국유체기계학회 학술대회 논문집 2010.12 학술대회자료
루츠형 중진공펌프 국산화 개발
탁봉열 ,  김영주 ,  방창열 외 3명 한국마린엔지니어링학회 학술대회 논문집 2010.10 학술대회자료

초록· 키워드

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Due to a roots type medium vacuum pump is operated in condition of 1~10?³ torr vacuum, it could be applied for production and process of industrial parts, such as precise processing, vaporization, enrichment, separation, casting, metaling, welding, transportation. Therefore, the demand of this pump is increasing nowadays in our industrial markets of semiconductor, electric, electronic, automobile, material, environmental and transporting industries. However, the pumps arc almost imported, because the domestic pumps arc inferior in fields of vacuum range as under 10?¹torr, relevant techniques(design, fabrication, casting, test, etc.) to the imported ones.
In this study, essential parts of the development pump arc designed with using of CFD and 3D decodes, FEM for analysing strength and deformation, generated heat, vibration and noise control, and arc casted with using of mechanochemistry techniques for decreasing of weights, increasing of heat resistances and abrasion durability of materials for pump caing and impellers especially. Besides, in order to achieve ultimate vacuum around 10?³torr, this pump is composed of 6 stages, among which tsr stage is operated separately from remained stages. Additionally, a test rig for prototype pumps(300㎥/h and 2,500㎥/h) is designed and procured as to apply for multi-staged rootz type vacuum pump, with modification of the test method recommended by KS B 6314 "Positive-displacement oil-sealed rotary vacuum pumps".
#Rootz type(루츠형) #Vacuum pump(진공펌프) #Medium vacuum(중진공) #Pumping speed(배기속도) #Ultimate vacuum(도달진공도) #Performance test(성능시험)

목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 본론
3. 결론
후기
참고문헌

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