선형 이온 소스 적용을 통한 폴리머 소재의 표면구조 제어

신민호 ,  김병준 ,  박영배 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2016 .05

대면적 표면처리를 위한 양극층 선형 이온원 개발

김종국 ,  강용진 ,  김도현 외 1명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2017 .12

Al 합금의 반응성 이온 식각후 표면 특성 연구

김창일 ,  권광호

대한전기학회 학술대회 논문집

1995 .11

염화제이철 수용액에 의한 스테인레스 강판의 식각에 관한 연구

이형민 ,  박무룡 ,  박광호 외 1명

화학공학

2012 .01

가스 클러스터 이온 빔에 의한 고체표면 식각에 관한 연구

송재훈 ,  최원국 ,  최덕균

한국재료학회 학술발표대회

2002 .01

플라즈마 식각 공정을 위한 3차원 식각 시뮬레이터 개발 ( Development of Three-Dimensional Etching Simulator for a Plasma Etching Process )

권오섭 ,  이제희 ,  윤상호 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1997 .11

플라즈마 식각 공정을 위한 3차원 식각 시뮬레이터 개발

권오섭 ,  이제희 ,  윤상호 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1997 .11

강판 전처리용 버켓이온원 개발

이재상 ,  이찬영

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2017 .11

반응성 이온 건식식각에 의해 형성된 실리콘 표면 잔류막의 특성연구 ( Charaterization of Si-Surface Residues Caused by Reactive Ion Etching )

이수민 ,  권광호 ,  이종석 외 6명

대한전자공학회 학술대회

1991 .07

반응성 이온 건식식각에 의해 형성된 실리콘 표면 잔류막의 특성연구

이수민 ,  권광호 ,  이종석 외 6명

대한전자공학회 학술대회

1991 .06

이온빔을 이용한 Black Phosphorus 식각 연구

김두산 ,  이원오 ,  박진우 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2017 .11

RIE(Reactive Ion Etching) 처리된 다결정 웨이퍼의 DRE(Damage Removal Etching) 처리에 따른 패시베이션 특성 분석

김무중 ,  박성은 ,  강민구 외 3명

한국태양에너지학회 학술대회논문집

2019 .04

반응성 이온 식각 장비에서 산소 플라즈마를 이용한 백금의 식각에 관한 연구

윤창식 ,  이종근 ,  김택수 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1995 .12

반응성 이온 식각 장비에서 산소 플라즈마를 이용한 백금의 식각에 관한 연구 ( A Study on Pt Etch by Oxygen Plasma in Reactive Ion Etcher )

윤창식 ,  이종근 ,  김택수 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1995 .11

할로겐 가스 기반의 반응성 이온 식각을 이용한 PRAM 재료 식각 연구

김두산 ,  박진우 ,  이원오 외 3명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2018 .11

실리콘 산화막의 플라즈마 식각에 대한 표면반응 모델링

임연호

화학공학

2006 .01

Characteristics of contaminated silicon surface due to CHF3/C2F6 reactive ion etching and Post etch treatments for removal of surface residue

박형호 ,  권광호 ,  곽병화 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1993 .01

고밀도 플라즈마 식각에 의한 CoTb과 CoZrNb 박막의 식각 특성

신별 ,  박익현 ,  정지원

화학공학

2005 .01

박형 웨이퍼에 적용가능한 건식 및 습식 식각에 대한 연구

박정은 ,  홍혜권 ,  조영호 외 2명

한국태양에너지학회 학술대회논문집

2018 .11

플라즈마 식각방법에 의한 단결정 실리콘의 Two-Step 식각특성 ( Two-Step Etching Characteristics of Single-Si by the Plasma Etching Technique )

이진희 ,  박성호 ,  김말문 외 1명

전자공학회논문지

1987 .01