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학술대회자료
저자정보
정진우 (서울대학교) 김종팔 (삼성종합기술원) 이병열 (한국기술교육대학교) 전국진 (서울대학교)
저널정보
대한전자공학회 대한전자공학회 학술대회 대한전자공학회 2008년 정기총회 및 추계종합학술대회
발행연도
2008.11
수록면
401 - 402 (2page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2012

혈압 측정을 위한 외팔보형 접촉힘 센서 어레이
정진우 ,  이병렬 ,  전국진 센서학회지 2012.01 학술저널

2008

110 ㎛ 피치의 접촉힘 측정 센서를 위한 외팔보 배열의 설계 및 제작
정진우 ,  김종팔 ,  이병열 외 1명 대한전자공학회 학술대회 2008.11 학술대회자료

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A contact force sensor using cantilever array is designed and fabricated for 1-D spatial sensing of contact force with small spacing. The sensor is composed of arrayed cantilevers released by TMAH wet etching technique utilizing the slowest etching rate of the {111} planes in (1 ... 전체 초록 보기

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