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학술대회자료
저자정보
신현호 (인하대학교) 강성준 (전남대학교) 윤영섭 (인하대학교)
저널정보
대한전자공학회 대한전자공학회 학술대회 대한전자공학회 2007년 하계종합학술대회
발행연도
2007.7
수록면
889 - 890 (2page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2007

PLD 법으로 제작한 IZO 박막의 광학적 특성에 관한 연구
신현호 ,  강성준 ,  윤영섭 대한전자공학회 학술대회 2007.07 학술대회자료
PLD 법으로 제작한 IZO 박막의 광학적 특성에 관한 연구
신현호 ,  강성준 ,  윤영섭 대한전자공학회 학술대회 2007.07 학술대회자료

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In this study, IZO (Indium Zinc Oxide) thin films were prepared on quartz substrates by pulsed laser deposition. The optical and electrical properties were investigated as a function of substrate temperatures at a fixed oxygen pressure. The XRD measurement showd that polycrystalline IZO thin film were formed. The surf^_@span style=color:#999999 ^_# ... ^_@/span^_#^_@a href=javascript:; onclick=onClickReadNode('NODE01597679');fn_statistics('Z354','null','null'); style='color:#999999;font-size:14px;text-decoration:underline;' ^_#전체 초록 보기^_@/a^_#

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