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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
김인수 (금오공과대학교) 김영식 (금오공과대학교) 황윤식 (금오공과대학교)
저널정보
한국기계가공학회 한국기계가공학회지 한국기계가공학회지 제10권 제4호
발행연도
2011.8
수록면
102 - 108 (7page)

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LQG/LTR control scheme is applied to the two axes stage using piezoelectric actuator for tracking reference input and suppressing hysteresis effect in this paper. The plant is combined with an integrator to improve the tracking ability. LQG/LTR controller is designed by making desirable target filter loop remove all poles except for an integrator included in new design plant model and loop transfer recovery. Decoupler in the shape of FIR filter is added to remove the coupling effect between the two axes motion and so feedback control loop is designed independently for the each axis motion.
#A Precise Stage(정밀 스테이지) #Piezoelectric Actuator(압전 작동기) #LQG/LTR(루프전달회복을 갖는 선형가우스 제어) #Coupling Effect(연계 효과)

목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 스테이지 모델링
3. 제어기 이론 및 설계
4. 스테이지 운동제어 실험
5. 결론
후기
참고문헌

참고문헌 (15)

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1. [단행본] - Robers, C. A. / 1988 / Smart Materials, Structures, and Mathematical Issues / Technomic Publishing Co : 147 ~ 155 google schola 2. [기타자료] - Park, K. W. / 2006 / Robust Control for a Ultra-Precision Stage System / The Korean Society of Mechanical Engineers : 344 ~ 349 google schola 4. [학술지(정기간행물)] - Goldfarb, M / 1997 / A Lumped Parameter Electromechanical Model for Describing the Nonlinear Behavior of Piezoelectric Actuators / Transaction of the ASME 119 : 478 ~ 485 google schola 5. [학술지(정기간행물)] - Ping, G / 1995 / Modeling Hysteresis in Piezoceramic Actuators / Precision Engineering 17 (3) : 211 ~ 221 google schola 6. [학술지(정기간행물)] - Yang, R. / 1996 / Design and Characterization of a Low-profile Micro Positioning Stage / American Society for Precision Engineering 18 : 20 ~ 29 google schola

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