컴플라이언스를 갖는 웨이퍼 탐침 시스템용 미동 매니퓰레이터

최기봉; 김수현; 곽윤근

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자료유형: 학술저널

저자정보: 최기봉 (한국과학기술원) 김수현 (한국과학기술원) 곽윤근 (한국과학기술원)

저널정보: Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회지 Vol.14 No.9

발행연도: 1997.9

수록면: 68 - 79 (12page)

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상세 메타 데이터	발행기관 메타	발행기관 이명, 영문명, 창립연도, 홈페이지URL, 발행기관 소개
	간행물 메타	부제목, 간행물 유형, ISSN, ISBN, 최초발행연도, 폐간연도, 간행빈도, 발행주기, 등재사항, 이용수, 피인용수, 권호수, 논문수, 표지이미지
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