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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
정광석 (한국교통대학교) 박성준 (한국교통대)
저널정보
한국생산제조학회 한국생산제조학회지 한국생산제조시스템학회지 Vol.21 No.1
발행연도
2012.2
수록면
58 - 64 (7page)

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Instead of the surface pattern arranged repeatedly in two axial direction on a plane, we propose double patterns superposing two one-axial linear patterns as a reference target for surface encoding. A upper layer of the superposed pattern is the transparent glass with grooves cut in it at a fixed pitch. The position is sensed by detecting a shift of beam due to difference of a refractive index. And a lower layer is the aluminum with color-coated grooves. The amount of beam reflected on the layer varies according to its targeting position and is detected for encoding. For the above reference pattern, we can detect two-axial positions using only the single beam. Furthermore, the pattern size can be expanded with a size of the detector kept constant, meaning that the measured range can be expanded easily. In this paper, we review the existing optical encoding methods for grid pattern, and discuss the hardware implementation of the suggested surface encoding method.
#Geometric optic(기하 광학) #Grid pattern(격자 패턴) #Reflectivity(반사율) #Refractive index(굴절률) #Surface encoding(서피스 인코딩)

목차

Abstract
1. 서론
2. 격자 기반 광학식 측정법
3. 적층 패턴과 인코딩을 위한 광계측 방법
4. 시험 결과 및 고찰
5. 결론
후기
참고문헌

참고문헌 (13)

참고문헌 신청
2. [학술지(정기간행물)] - Kim, S. W / 1995 / A Fine Motion Mechanism of Dual ServoControl for Ultraprecision Positioning / Trans. of KoreanSociety for Mechanical Engineering 19 (11) : 2875 ~ 2884 google schola 3. [학술지(정기간행물)] - Kim, W. J / 1998 / High-precision Magnetic Levitation Stage for Photolithography / Precision Engineering 22 (2) : 66 ~ 77 google schola 4. [학술대회논문] - Cho, W / 2008 / A Study on Real-time Measurement Method of Precision Stage Position Errors using Directly Probing Optical Device / Proc. of KSMTE Spring Conf : 465 ~ 468 google schola 6. [학술지(정기간행물)] - Gao, W / 2004 / A Surface Motor- driven Planar Motion Stage Integrated with an XYθz Surface Encoder for Precision Positioning / Precision Engineering 28 (3) : 329 ~ 337 google schola 7. [기타자료] - Miller, G. L / 1990 / Capacitively Incremental Position Measurement and Motion Control / US Patent: 4893071 google schola

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