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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
서대한 (목포대학교) 전성용 (목포대학교)
저널정보
한국표면공학회 한국표면공학회지 한국표면공학회지 제45권 제3호
발행연도
2012.6
수록면
121 - 127 (7page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2014

유도결합 플라즈마 마그네트론 스퍼터법으로 제작된 나노결정질 CrN 코팅막의 미세구조 및 물성변화에 대한 연구
서대한 신소재공 2014.01 학위논문

2012

DC 스퍼터법과 유도결합 플라즈마 마그네트론 스퍼터법으로 증착된 CrN 코팅막의 물성 비교연구
서대한 ,  전성용 한국표면공학회지 2012.06 학술저널

초록· 키워드

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Nanocrystalline CrN coatings were fabricated by DC and ICP (inductively coupled plasma) assisted magnetron sputtering techniques. The effect of ICP power, ranging from 0 to 500 W, on coating microstructure, preferred orientation mechanical properties were systematically investigated with HR-XRD, SEM, AFM and nanoindentation. The results show that ICP power has an significant influence on coating microstructure and mechanical properties of CrN coatings. With the increasing of ICP power, coating microstructure evolves from the columnar structure of DC process to a highly dense one. Grain size of CrN coatings were decreased from 11.7 ㎚ to 6.6 ㎚ with increase of ICP power. The maximum nanohardness of 23.0 GPa was obtained for the coatings deposited at ICP power of 500 W. Preferred orientation in CrN coatings also vary with ICP power, exerting an effective influence on film nanohardness.
#Inductively coupled plasma #ICP power #Grain size #Preferred orientation #Nanoindentation

목차

Abstract
1. 서론
2. 실험방법
3. 결과 및 고찰
4. 결론
참고문헌

참고문헌 (16)

참고문헌 신청
T. Polcar / 2007 / Surf. Coat. Technol. 201:5228 google schola P. H. Mayrhofer / 2001 / Surf. Coat. Technol. 146:222 google schola L. Cunha / 1999 / Thin Solid Films 355:465 google schola Q. Kong / 2011 / Mater. Sci. Eng., B 176:850 google schola 백정호 / 2010 / CrN 코팅구조에 따른 Polymer Electrode Membrane Fuel Cell 금속분리판의 부식특성 비교 / 한국재료학회지 20(4):187~193 dbpia

이 논문의 저자 정보

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