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한국표면공학회 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2006 춘계 학술발표회 초록집
발행연도
2006.4
수록면
141 - 141 (1page)

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이 논문의 연구 히스토리 (6)

2007

내장형 선형 유도결합 플라즈마를 이용한 대면적 플라즈마 공정에 관한 연구
임종혁 ,  박정균 ,  김경남 외 1명 한국진공학회 학술발표회초록집 2007.08 학술대회자료

2006

선형 유도결합 플라즈마 시스템에서 자장에 의한 플라즈마의 Confinement 효과에 관한 연구
임종혁 ,  김경남 ,  염근영 한국표면공학회지 2006.06 학술저널
평판형 디스플레이 적용을 위한 내장형 Multiple U-Type 안테나를 이용한 유도결합형 플라즈마에 관한 연구
임종혁 ,  김경남 ,  염근영 Applied Science and Convergence Technology 2006.05 학술저널
대면적 플라즈마 공정을 위한 내장형 선형 안테나을 이용한 유도결합형 플라즈마에 관한 연구
임종혁 ,  김경남 ,  염근영 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2006.04 학술대회자료
평판형 디스플레이 적용을 위한 내장형 Multiple U-Type 안테나를 이용한 유도결합형 플라즈마에 관한 연구
임종혁 ,  김경남 ,  염근영 한국진공학회 학술발표회초록집 2006.02 학술대회자료

2005

평판형 디스플레이 적용을 위한 내장형 Multiple U-Type 안테나를 이용한 유도결합형 플라즈마를 관한 연구
임종혁 ,  김경남 ,  염근영 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2005.11 학술대회자료

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목차

1. 서론
2. 본론
3. 결과
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Inductively Coupled Plasma를 이용한 SnO 박막의 식각 특성 연구
김수곤 ,  박병옥 ,  이준형 외 2명 한국표면공학회지 2016 .02
DC 스퍼터법과 유도결합 플라즈마 마그네트론 스퍼터법으로 증착된 CrN 코팅막의 물성 비교연구
서대한 ,  전성용 한국표면공학회지 2012 .06
반도체 플라즈마 식각 시스템의 균일도 향상을 위한 CCP와 ICP 결합 임피던스정합 장치
鄭斗溶 ,  南昌佑 ,  李正鎬 외 2명 전력전자학회논문지 2010 .08
수치모델을 이용한 ICP-CVD 장치의 증착 균일도 해석
주정훈 한국표면공학회지 2008 .12
내장형 선형 안테나를 이용한 대면적 유도결합형 플라즈마 소스에 관한 연구
박정균 ,  임종혁 ,  김경남 외 1명 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2007 .04

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