대면적 플라즈마 공정을 위한 내장형 선형 안테나을 이용한 유도결합형 플라즈마에 관한 연구

임종혁 ,  김경남 ,  염근영

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2006 .04

$SiO_2$ 막의 습식식각 방법별 균일도 비교

안영기 ,  김현종 ,  성보람찬 외 2명

한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회

2006 .01

NLD Plasma 식각 공정을 이용한 $LiNbO_3$ 광 도파로의 식각 Profile의 특성

박우정 ,  양우석 ,  이승태 외 4명

한국재료학회 학술발표대회

2003 .01

CH₄/Ar 유도결합플라즈마를 이용한 ZnO 박막의 식각 특성에 관한 연구

엄두승 ,  허경무 ,  박정수 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2009 .05

내장형 선형 ICP(Inductively Coupled Plasma) System에서 자장이 플라즈마와 PR 식각특성에 미치는 영향

김경남 ,  이영준 ,  경세진 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2003 .05

300㎜ 웨이퍼용 식각 장비에서 안테나에 의한 플라즈마 균일도 모델링

양원균 ,  주정훈 ,  남창길

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2010 .11

플라즈마를 이용한 GaAs 반응성 이온 식각

이성현 ,  노호섭 ,  최경훈 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

2009 .01

고밀도 플라즈마를 이용한 contact hole 식각에서 공정 변수에 따른 식각 특성

김관하 ,  김창일

대한전기학회 학술대회 논문집

2006 .07

단결정 실리콘의 이방성 습식식각

조남인 ,  김민철 ,  강찬민

한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회

2003 .01

유도 결합 플라즈마를 이용한 Y₂O₃ 박막의 식각 특성 연구 ( A Study on Etch Characteristics of Y₂O₃ Thin Films in Inductively Coupled Plasma )

김영환 ,  김창일

전자공학회논문지-SD

2001 .09

300 ㎜ 웨이퍼용 식각 장비에서 병렬 안테나 플라즈마원의 균일도 평가

홍광기 ,  최지성 ,  양원균 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2010 .11

대면적 내장 선형 ICP(inductively coupled plasma) system에서 자장이 플라즈마와 PR(Photoresist) 식각 특성에 미치는 영향

오창권 ,  김경남 ,  염근영

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2005 .05

고종횡비 실리콘 트랜치 건식식각 공정에 관한 연구

함동은 ,  신수범 ,  안진호

한국재료학회 학술발표대회

2003 .01

대면적 플라즈마 공정을 위한 ferrite module을 이용한 U-type 내장형 선형 유도결합 플라즈마 소스에 관한 연구

홍승표 ,  임종혁 ,  권광호 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2009 .05

고밀도 플라즈마를 이용한 ZnO 박막의 식각 특성 분석

강찬민 ,  김관하 ,  김창일

대한전기학회 학술대회 논문집

2006 .07

평판형 디스플레이 적용을 위한 내장형 Multiple U-Type 안테나를 이용한 유도결합형 플라즈마를 관한 연구

임종혁 ,  김경남 ,  염근영

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2005 .11

MEMS기반 에너지 하베스터 제작을 위한 실리콘 KOH 식각 모형화

민철홍 ,  김태선 ,  강경우

전기전자재료학회논문지

2012 .01

디스플레이 공정용 메탈윈도우 유도결합플라즈마 식각장치에 대하여

이호준

인포메이션 디스플레이

2017 .01

축전 결합형 $O_2$ 플라즈마를 이용한 아크릴과 폴리카보네이트의 식각 공정 비교

박주홍 ,  이성현 ,  노호섭 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

2009 .01

BCl₃/C₄F₈ 가스 조합을 이용한 ZrO_x 박막의 선택적 플라즈마 식각에 관한 연구

오창권 ,  박상덕 ,  염근영

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2006 .04