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저널정보
대한전기학회 대한전기학회 학술대회 논문집 대한전기학회 제37회 하계학술대회 논문집 C
발행연도
2006.7
수록면
1,382 - 1,383 (2page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2014

고밀도 플라즈마를 이용한 p-type ZnO 박막의 건식 식각 메커니즘 연구
강찬민 ,  박정호 대한전자공학회 학술대회 2014.06 학술대회자료

2006

고밀도 플라즈마를 이용한 ZnO 박막의 식각 특성 분석
강찬민 ,  김관하 ,  김창일 대한전기학회 학술대회 논문집 2006.07 학술대회자료

초록· 키워드

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ZnO 박막은 wide band gap(Eg=3.37eV)의 derect band gap을 갖고 있기 때문에 여러 소자로의 응용가능성에 큰 기대를 하고 있는 물질이다. 본 논문에서는 소자 제조과정에서 요구되는 ZnO 박막의 식각변수에 따른 식각율과 식각특성에 관하여 연구하였으며 Inductively coupled plasma(ICP)를 사용하여 BCl₃/Ar 가스를 혼합하여 식각을 하였다. BCl₃/Ar=8/2 플라즈마에서 화학적 식각의 도움을 받아 ZnO 박막의 식각률은 1724λ/min로 최고를 보였으며 이때의 공정 조건은 800W의 RF power, 400 W 의 bias power, 1 Pa 의 공정 압력이 ... 전체 초록 보기

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