고밀도 플라즈마를 이용한 PZT용 Pt / RuO2 이중박막의 식각 ( Dry Etching of Pt / RuO2 for Pb ( Zr , Ti ) O3 by High Density Plasma )

이종근; 박세근

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자료유형: 학술저널

저자정보: 이종근 박세근

저널정보: 대한전자공학회 전자공학회논문지-SD 전자공학회논문지 SD편 제37권 제3호

발행연도: 2000.3

수록면: 1 - 5 (5page)

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