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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
저널정보
한국표면공학회 한국표면공학회지 한국표면공학회지 제39권 제3호
발행연도
2006.6
수록면
142 - 146 (5page)

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이 논문의 연구 히스토리 (6)

2007

내장형 선형 유도결합 플라즈마를 이용한 대면적 플라즈마 공정에 관한 연구
임종혁 ,  박정균 ,  김경남 외 1명 한국진공학회 학술발표회초록집 2007.08 학술대회자료

2006

선형 유도결합 플라즈마 시스템에서 자장에 의한 플라즈마의 Confinement 효과에 관한 연구
임종혁 ,  김경남 ,  염근영 한국표면공학회지 2006.06 학술저널
평판형 디스플레이 적용을 위한 내장형 Multiple U-Type 안테나를 이용한 유도결합형 플라즈마에 관한 연구
임종혁 ,  김경남 ,  염근영 Applied Science and Convergence Technology 2006.05 학술저널
대면적 플라즈마 공정을 위한 내장형 선형 안테나을 이용한 유도결합형 플라즈마에 관한 연구
임종혁 ,  김경남 ,  염근영 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2006.04 학술대회자료
평판형 디스플레이 적용을 위한 내장형 Multiple U-Type 안테나를 이용한 유도결합형 플라즈마에 관한 연구
임종혁 ,  김경남 ,  염근영 한국진공학회 학술발표회초록집 2006.02 학술대회자료

2005

평판형 디스플레이 적용을 위한 내장형 Multiple U-Type 안테나를 이용한 유도결합형 플라즈마를 관한 연구
임종혁 ,  김경남 ,  염근영 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2005.11 학술대회자료

초록· 키워드

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A novel internal-type linear inductive antenna, which we refer to as a double comb-type antenna, was developed for a large-area plasma source with substrate size of 880 ㎜ × 660 ㎜ (4<SUP>th</SUP> generation glass size). In this study, effect of plasma confinement by applying multi-polar magnetic field was investigated. High density plasmas of the order of 3.18 × 10<SUP>11</SUP> ㎝<SUP>?3</SUP> could be obtained with a pressure of 15 mTorr Ar at an inductive power of 5000 W with good plasma stability. This plasma density is higher than that obtained for the conventional double comb-type antenna, possibly due to the plasma confinement, low rf voltage, resulting in high power transfer efficiency. Also, due to the remarkable reduction in the antenna rf voltage and length, a plasma uniformity of less than 3% could be obtained within a substrate area of 880 ㎜ × 660 ㎜ as rf power increased.
#Plasma #Large area #Impedance #Display

목차

Abstract
1. 서론
2. 실험장치 및 방법
3. 실험결과 및 고찰
4. 결론 및 후기
감사의 글
참고문헌

참고문헌 (10)

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[학술지(정기간행물)] - Setuhara, Y / 2003 / Surface and Coating Technology / Surface and Coating Technology 174 : 33 ~ 39 google schola [학술지(정기간행물)] - Holland, J / 1996 / SID Sym. Digest / SID Sym. Digest 27 : 526 ~ google schola [학술지(정기간행물)] - Heinrich, F / 1996 / J. Vac. Sci. Technol. B / J. Vac. Sci. Technol. B 14 : 2000 ~ google schola [학술지(정기간행물)] - Takei, H / 1998 / SID 98 Digest / SID 98 Digest 1102 google schola [학술지(정기간행물)] - Schmitt, J / 2002 / Plasma Sources Sci. Technol. / Plasma Sources Sci. Technol. 11 : 206 ~ google schola

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UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2009-581-014784139