유체 모델을 이용한 질소 플라즈마의 특성 분석

임장섭; 소순열

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자료유형: 학술저널

저자정보: 임장섭 소순열

저널정보: 한국조명·전기설비학회 조명·전기설비학회논문지 조명·전기설비학회논문지 제18권 제1호

발행연도: 2004.1

수록면: 28 - 35 (8page)

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질소는 안정한 가스로서 잘 알려져 있지만, 해리, 여기, 선리 등의 반응이 일어나기 시작하면 활성도가 높아지게 되고 오랫동안 유지되는 특성을 갖고 있다. 이러한 반응 및 전송과정을 이용하는 예가 많은 분야에서 볼 수 있다. 현재 질소 가스만의 특성 분석 연구에 관한 보고는 상당히 부족하며 이러한 부분에 대한 연구가 필요하다고 볼 수 있다. 본 연구에서는 질소 플라즈마의 특성을 상세하게 이해하기 위해, 용량 결합형 프라즈마의 1차원 유체 모델에 의한 시뮬레이션을 행하였다. 하전입자의 밀도, 공가 전계 및 전자 에너지 등의 기본적인 움직임을 혹인하고, 전기적으로 정의 가스에서는 발생하지 않는 전기적 이중층의 형성을 분석하였다. 또한 전원 전압을 300～700〔V〕로, 압력을 0.2～2.0〔Torr〕로 변화시켜, 그에 따른 플라즈마를 구성하는 각 입자들의 특성을 고찰하였다.

#NP(Nitrogen Plasma) #용량결합형 플라즈마(CCP) #SG법(Scharfetter and Gummol's Mothod)

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[학술지(정기간행물)] - / 1986 / Cross Sections for Collisions of Eletrons and Photons with Nitrogen Molecules 15 (3) : 985 ~

[학술지(정기간행물)] - / 1997 / Eelctron and heavy particle kinetics in a low-pressure nitrogen glow discharge 6 : 361 ~

[학술지(정기간행물)] - / 2001 / A simplified chemical kinetic model for slightly ionized, atmospheric pressure nitrogen plasmas 10 : 38 ~

[학술지(정기간행물)] - / 1997 / A time-dependent analysis of the nitrogen afterglow in N2 and N2-Ar microwabe discharges 30 : 2320 ~

[학술지(정기간행물)] - / 1998 / An Optical Emission Study on Expanding Low-Temperature Cascade Ard Plasams 18 (4) : 461 ~

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