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논문 기본 정보

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학술저널
저자정보
저널정보
한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제17권 제5호
발행연도
2004.1
수록면
560 - 566 (7page)

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이 논문의 연구 히스토리 (4)

2004

유도결합형 플라즈마에서의 Ne, Ar, Kr 혼합가스 방전특성
허인성 ,  최용성 ,  이종찬 외 1명 대한전기학회 학술대회 논문집 2004.11 학술대회자료
Ne, Ar, Kr 혼합가스에서의 유도결합형 플라즈마 방전특성
허인성 ,  최용성 ,  이종찬 외 2명 한국조명·전기설비학회 학술대회논문집 2004.11 학술대회자료
Ar 가스 압력과 RF 전력에 따른 유도결합형 플라즈마의 전기적 및 광학적 특성
허인성 ,  박대희 ,  이영환 외 1명 전기전자재료학회논문지 2004.01 학술저널

2003

Ar 가스압력과 RF 전력변화 (13.56㎒)에 따른 유도결합형 플라즈마의 광학적 E-H모드변환 특성
허인성 ,  이영환 ,  최용성 외 1명 대한전기학회 학술대회 논문집 2003.07 학술대회자료

초록· 키워드

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In this paper, the electrical and emission properties of electrodeless fluorescent lamp were discussed using the inductively coupled plasma (ICP) with the variation of argon gas pressure and RF power. The RF output was applied to the antenna in the range of 5～50 W at 13.56 MHz. The internal plasma voltage of the chamber and the probe current were measured while varying the supply voltage to the Langmuir probe in the range of -100 V～+100 V. When the pressure of argon gas was increased, electric current was decreased. There was a significant electric current increase from 10 to 30 W. Also, when the RF power was increased, electron density was increased. Also, the emission spectrum, Ar-Ⅰ line, luminance were investigated. At this time, the input parameter for ICP RF plasma, Ar gas pressure and RF power were applied in the range of 10～60 mTorr, 10～300 W, respectively. This implies that this method can be used to find an optimal RF power for efficient light illumination in an electrodeless fluorescent lamp.
#Plasma diagnosis #Langmuir probe #Bias voltage #Electron density #RF powerInductively coupled plasma

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/ 1986. / プラズマ 基礎工 google schola / 1987. / プラズマ 工 google schola / 1987. / 플라즈마 온도 측정에 관한 연구 google schola / 1991. / High-density plasma mode of an inductively coupled radio frequency discharge : 362 ~ google schola / 1994. / Measurements of inductively coupled RF fluorescent lamp lumen pro- perties 3 : 1998 ~ google schola

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