지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
이용수
초록· 키워드
오류제보하기
등록된 정보가 없습니다.
목차
Abstract
1. 서론
2. 실험장치 및 방법
3. 결과 및 고찰
4. 결론
감사의 글
참고문헌
저자소개
참고문헌 (0)
참고문헌 신청함께 읽어보면 좋을 논문
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
-
유도결합형 Ar 플라즈마의 압력에 따른 전기적 특성분석
전기학회논문지 C
2004 .03
-
유도결합형 플라즈마에서 압력에 따른 Ar Gas의 특성분석
대한전기학회 학술대회 논문집
2003 .07
-
Ar/CF4 Gas를 이용한 대면적 유도결합 플라즈마의 광분석 장치 개발에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2014 .07
-
Ar 가스 압력과 RF 전력변화에 따른 유도결합형 플라즈마 E-H모드 변환의 광학적 특성
전기학회논문지 C
2004 .01
-
유도 결합형 열 플라즈마의 특성 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
1991 .11
-
유도결합형 제논 플라즈마의 전자온도, 전자밀도 특성
대한전기학회 학술대회 논문집
2005 .07
-
고주파 유도결합 플라즈마의 전자에너지 분포 계측(Ⅱ)
대한전기학회 학술대회 논문집
1998 .07
-
유도결합 Ar/CH4 플라즈마의 전기적 진단과 유체 시뮬레이션 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2015 .11
-
Ar/H2 유도 결합형 플라즈마의 펄스 모드 구동에 따른 이온 및 중성 기체 밀도 분포
대한전기학회 학술대회 논문집
2017 .10
-
유체시뮬레이션을 통한 Ar/CF₄ 자화유도결합 플라즈마의 특성 연구
전기학회논문지
2015 .04
-
Ar/N₂/SiH₄/NH₃ 유도 결합형 플라즈마의 N₂ 함량에 따른 플라즈마 특성 분석
대한전기학회 학술대회 논문집
2016 .07
-
유도결합형 플라즈마에서의 Ne, Ar, Kr 혼합가스 방전특성
대한전기학회 학술대회 논문집
2004 .11
-
유체 시뮬레이션을 이용한 Ar/H₂ 유도 결합형 플라즈마 소스의 중성 기체 온도 구배 효과에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2018 .10
-
반응성 유도결합 플라즈마 시스템에서 방전시 압력 변화의 해석
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2004 .11
-
선형 초고주파 플라즈마 및 유도결합 Ar/CH4 플라즈마의 전기적 진단과 유체 시뮬레이션 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2016 .10
-
유체 시뮬레이션과 정전 탐침법을 이용한 유도결합 Ar 플라즈마 특성에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2016 .07
-
Etching Characteristics and Mechanism of Low Temperature Deposited Silicon Nitride Film Using Inductively Coupled CH2F2/O2/Ar Plasma
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2013 .11
-
정전 탐침법과 유체 시뮬레이션을 이용한 유도결합 Ar 플라즈마의 특성 연구
전기학회논문지
2016 .07
-
유체시뮬레이션을 통한 대면적 유도결합 플라즈마의 최적화 특성 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2017 .10
-
유체 시뮬레이션을 이용한 유도결합 Ar/CH₄ 플라즈마의 특성 분석
전기학회논문지
2016 .08
이 논문의 저자 정보
최근 본 자료
댓글(0)
0
UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2009-560-018902461