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Abstract
1. 서론
2. 실험장치 및 방법
3. 결과 및 토의
4. 결론
감사의 글
참고문헌
저자소개
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유도결합형 플라즈마에서 압력에 따른 Ar Gas의 특성분석
대한전기학회 학술대회 논문집
2003 .07
유도결합형 Ar 플라즈마의 압력에 따른 전기적 특성분석
전기학회논문지 C
2004 .03
Ar 가스 압력에 따른 유도결합형 플라즈마의 전자 밀도 측정
전기학회논문지 C
2003 .11
Ar 가스 압력과 RF 전력에 따른 유도결합형 플라즈마의 전기적 및 광학적 특성
전기전자재료학회논문지
2004 .01
Ar/CF4 Gas를 이용한 대면적 유도결합 플라즈마의 광분석 장치 개발에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2014 .07
반응성 유도결합 플라즈마 시스템에서 방전시 압력 변화의 해석
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2004 .11
유도결합형 플라즈마에서의 Ne, Ar, Kr 혼합가스 방전특성
대한전기학회 학술대회 논문집
2004 .11
유체 시뮬레이션을 이용한 Ar/H₂ 유도 결합형 플라즈마 소스의 중성 기체 온도 구배 효과에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2018 .10
간단한 RF 보상 정전탐침법을 이용한 유도결합형 플라즈마 특성 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2011 .07
유체 시뮬레이션과 정전 탐침법을 이용한 유도결합 Ar 플라즈마 특성에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2016 .07
유체시뮬레이션을 통한 Ar/CF₄ 자화유도결합 플라즈마의 특성 연구
전기학회논문지
2015 .04
Etching Characteristics and Mechanism of Low Temperature Deposited Silicon Nitride Film Using Inductively Coupled CH2F2/O2/Ar Plasma
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2013 .11
지하수 조사에서 환경추적자로서의 $SF_6$의 적용
한국지하수토양환경학회 학술발표회
2003 .01
Time Periodic Steady State in Simulation of Coupled RF Plasma
한국에너지학회 학술발표회
2012 .10
사중극자 질량 분석기를 이용한 BCl₃/Ar 유도결합 플라즈마 특성 진단
전기학회논문지 C
2006 .04
CH₄/Ar 유도결합플라즈마를 이용한 ZnO 박막의 식각 특성에 관한 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2009 .05
Ar/H2 유도 결합형 플라즈마의 펄스 모드 구동에 따른 이온 및 중성 기체 밀도 분포
대한전기학회 학술대회 논문집
2017 .10
Electro-optical characteristics of MgO protective layer after RF plasma treatment using Ar, $O_2$ and $H_2$ gases
한국정보디스플레이학회 International Meeting
2005 .01
유도결합 Ar/CH4 플라즈마의 전기적 진단과 유체 시뮬레이션 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2015 .11
선형 유도결합 플라즈마 시스템에서 자장에 의한 플라즈마의 Confinement 효과에 관한 연구
한국표면공학회지
2006 .06
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