유도결합 플라즈마(ICP)의 E - H mode 전이 때 축전전기장과 유도전기장의 분포에 따른 플라즈마 특성비교

이용관; 장홍영

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 이용관 장홍영

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제16회 학술발표회논문개요집

발행연도: 1999.2

수록면: 163 - 163 (1page)

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장홍영

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서상훈 , 홍정인 , 배근희 외 1명 한국진공학회 학술발표회초록집 1998 .07

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Internal Linear Antenna를 이용한 ICP 플라즈마에서의 균일도 향상을 위한 연구

김대철 , 김종식 , 김용현 외 6명 한국진공학회 학술발표회초록집 2009 .02

Ar 가스 압력과 RF 전력변화에 따른 유도결합형 플라즈마 E-H모드 변환의 광학적 특성

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