메뉴 건너뛰기
.. 내서재 .. 알림
소속 기관/학교 인증
인증하면 논문, 학술자료 등을  무료로 열람할 수 있어요.
한국대학교, 누리자동차, 시립도서관 등 나의 기관을 확인해보세요
(국내 대학 90% 이상 구독 중)
로그인 회원가입 고객센터 ENG
주제분류
인문학
인문학 일반 역사학 철학 종교학 어문학 기타 인문학
사회과학
사회과학 일반 경영학 관광학 교육학 군사학 문헌정보학 법학 사회학 신문방송학 심리과학 정치외교학 지리학 행정학 경제학 무역학 인류학 기타 사회과학
자연과학
자연과학 일반 물리학 생물학 생활과학 수학·통계학 천문학 지구과학 화학 기타 자연과학
공학
공학 일반 건축공학 기계공학 산업공학 재료·에너지공학 전기전자공학 조선해양공학 화학공학 컴퓨터학 기타공학
의약학
의학 일반 간호학 수의학 약학 한의학 기초의학 임상의학 기타 의약학
농수해양학
농수해양학 일반 농학 수산학 식품과학 임학 축산학 해상운송학 기타 농수해양학
예술체육학
예술 일반 디자인 미술 미용 사진 음악학 의상 체육 공연매체예술 기타 예술체육학
복합학
학제간연구 과학기술학 뇌인지과학 기술정책 기타 복합학

ENG

추천
검색
질문

논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제8권 제3(2)호
발행연도
1999.8
수록면
368 - 375 (8page)

이용수

표지
📌
연구주제
📖
연구배경
🔬
연구방법
🏆
연구결과
AI에게 요청하기
추천
검색
질문

초록· 키워드

오류제보하기
유도결합 플라즈마(ICP) 발생장치에서 유도코일에 RF를 인가했을 때 발생하는 플라즈마에 대해 Maxwell 방정식과 transformer 등가회로 모형을 적용하여 진공실 내에 분포하는 vector potential을 계산하고 이로부터 자기장과 전기장의 분포를 계산하였다. 그 결과로서, 플라즈마 전류, 코일과 플라즈마의 상호 유도계수, 플라즈마의 자체 유도계수는 skin depth의 증가에 따라 감소하는 경향을 보였다. 흡수된 power의 공간적 분포는 유도된 전기장의 분포와 같이 안테나 코일이 위치한 곳에서 최대치를 가지며 전력 전달 효율은 기체 압력에 따라 증가하다가 20 mTorr 근처에서 포화되었고 플라즈마 밀도에 비례하여 증가하다가 5×10¹¹ /㎤ 근처에서 최대가 된 후 다시 감소하였다.

목차

요약

Abstract

1. 서론

2. 이론

3. 계산 결과 및 논의

4. 결론

감사의 글

참고문헌

참고문헌 (0)

참고문헌 신청
참고문헌이 DBpia에서 서비스 중이라면, [참고문헌 신청]을 통해 등록해보세요

함께 읽어보면 좋을 논문

논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!

이 논문의 저자 정보

이 논문과 함께 이용한 논문

전기적 특성을 고려한 ICP Source 설계
이상원 Applied Science and Convergence Technology 2009 .05

최근 본 자료

전체보기

댓글(0)

0

UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2019-420-001263777