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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제9권 제4호
발행연도
2000.12
수록면
428 - 435 (8page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2000

정전 탐침을 이용한 유도 결합형 반응기에서 발생하는 산소 플라즈마의 특성연구
김종식 ,  김곤호 ,  정태훈 외 2명 Applied Science and Convergence Technology 2000.12 학술저널

1999

정전 탐침을 이용한 산소 플라즈마의 음이온 발생 특성 연구
김종식 ,  김대철 ,  김곤호 한국진공학회 학술발표회초록집 1999.07 학술대회자료

초록· 키워드

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정전 탐침을 이용하여 유도 결합형 반응기에서 발생하는 산소 플라즈마의 음이온 발생 특성을 관찰하였다. 입력전력과 운전압력 조건에 따른 산소 플라즈마에서 electronegative 음이온 플라즈마의 입력전력과 운전압력에 따른 정전 탐침에 흐르는 포화 양 전류 대 포화 음 전류( 전자 전류와 음 이온 전류의 합)의 전류 비율과 플라즈마 부유 전위와 플라즈마 전위 차의 변화로부터 음이온 발생 특성관찰을 하였다. 전류비의 증가와 전위차 값의 감소는 입력전력이 증가함에 따라 약 30~60 mTorr 운전압력 영역에서 나타났으며 이 조건에서 음이온의 발생 량이 증가함을 의미하고, 플라즈마 내의 이온들은 음이온과 재결합에 의한 손실이 증가하여 플라즈마 밀도가 감소함을 알 수 있었다.

목차

요약

Abstract

1. 서론

2. 탐침 이론

3. 실험 장치

4. 실험 결과 및 고찰

5. 결론

감사의 글

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