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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제17권 제3호
발행연도
2008.5
수록면
189 - 194 (6page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2008

랑뮤어 탐침에 의해 변형된 열플라즈마 특성에 관한 해석적 연구
이종철 ,  김윤제 Applied Science and Convergence Technology 2008.05 학술저널
랑뮤어 탐침에 의해 변형된 열플라즈마 특성에 관한 해석적 연구
이종철 ,  조성훈 ,  김윤제 한국진공학회 학술발표회초록집 2008.02 학술대회자료

초록· 키워드

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플라즈마 진단법 중 손쉽고 구동이 용이한 장점으로 인해 범용 플라즈마 진단 장치로 사용되는 랑뮤어(Langmuir) 탐침법은 탐침이 직접 플라즈마 내에 삽입됨으로써 플라즈마를 간섭하기 때문에 플라즈마 고유의 특성을 변형시키는 약점이 있다. 본 연구에서는 대기압 아르곤 자유 연소 아크 (free-burning arc)에 삽입된 랑뮤어 탐침에 의한 교란 영향을 고찰하기 위하여 탐침 유무에 따른 열플라즈마 상태를 수치계산 하였고, 온도장과 속도장이 왜곡된 정도를 비교 분석하였다. 열플라즈마를 모델링하기 위하여 열유동장과 전자기장에 관한 두 종류의 지배방정식을 상용 CFD 프로그램과 자체 제작한 서브루틴을 이용하여 연계 계산하였다. 삽입된 탐침에 의해 열플라즈마 온도장은 탐침의 앞뒤에서 모두 플라즈마 축의 수직 방향으로 큰 변화를 나타내는 열적 교란이 발생되었다. 속도장에서는 탐침 선단의 정체 영역과 후단 후류 영역에서 유동 교란이 발생되었으며, 삽입된 탐침의 영향이 국부적인 것이 아닌 플라즈마 유동장 대부분 영역에 영향을 미침을 확인할 수 있었다. 따라서 탐침법의 신뢰성을 높이기 위해서는 탐침 삽입에 의한 플라즈마의 열유체역학적 교란을 고려해야 한다.
#열플라즈마 #랑뮤어 탐침 #자유 연소 아크 #열유체역학적 교란 #전산유체역학 #Thermal plasma #Langmuir probe #free-burning arc #aerodynamic and thermal disturbances #computational fluid dynamics

목차

Ⅰ. 서론
Ⅱ. 수치해석
Ⅲ. 결과 및 고찰
Ⅳ. 결론
감사의 글
참고 문헌

참고문헌 (10)

참고문헌 신청
1. [단행본] - M. I. Boulos / 1995 / Thermal Plasmas / Plenum Press google schola 2. [기타자료] - J. H. Boo / 2006 / Korean Vacuum Society 15(6) google schola 3. [단행본] - P. M. Chung / 1975 / Electrical Probes in Stationary and Flowing Plasmas / Spring-Verlag google schola 4. [단행본] - A. Grill / 1994 / Cold Plasma in Material Fabrication: From Fundamentals to Applications / John Wiley & Sons google schola 5. [학술지(정기간행물)] - K. C. Hsu / 1983 / J. Appl / Phys 54 (1293) google schola

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