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이용수
Abstract
1. 서론
2. 실험 장치 및 방법
3. 결과 및 검토
4. 결론
감사의 글
[참고문헌]
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1991 .11
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전기학회논문지
1995 .06
대기압 플라즈마 유동장에 삽입된 랑뮤어 프로브의 영향에 관한 수치적 연구
대한기계학회 춘추학술대회
2006 .11
유체 시뮬레이션과 정전 탐침법을 이용한 유도결합 Ar 플라즈마 특성에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2016 .07
랑뮤어 탐침과 컷오프 탐침을 이용한 자화유도결합 플라즈마의 특성 연구
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2015 .11
선형 초고주파 플라즈마 및 유도결합 Ar/CH4 플라즈마의 전기적 진단과 유체 시뮬레이션 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2016 .10
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대한전기학회 학술대회 논문집
2017 .10
ECR Reactor 내의 Langmuir Probe 시뮬레이션
대한전기학회 학술대회 논문집
1994 .07
Langmuir막과 Langmuir-Blodgett막의 전기적 특성 ( Electrical Properties of Langmuir and Langmuir-Blodgett Films )
대한전자공학회 학술대회
1989 .01
2D-ICP(inductively coupled plasma)에서 정전 탐침 삽입 시의 플라즈마 수치 계산
한국표면공학회지
2011 .02
CFD 분석을 통한 열플라즈마 측정법 향상
대한기계학회 춘추학술대회
2008 .04
디지탈 Langmuir Probe에 의한 플라즈마 진단
대한전기학회 학술대회 논문집
1989 .07
유체시뮬레이션을 통한 대면적 유도결합 플라즈마의 최적화 특성 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2017 .10
고주파 유도결합 플라즈마의 전자에너지 분포 계측(Ⅱ)
대한전기학회 학술대회 논문집
1998 .07
자화된 유도 결합 열 플라즈마의 특성 연구
전기학회논문지
1993 .04
Diagnostics of Pulsating Plasma Etching Process Using Langmuir Probe Measurement and Optical Emission Spectroscopy
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2009 .05
유체시뮬레이션을 이용한 aspect ratio에 따른 유도결합플라즈마의 최적화 특성 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2018 .10
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