디지탈 Langmuir Probe에 의한 플라즈마 진단

연충규 ,  황기웅

대한전기학회 학술대회 논문집

1989 .07

Langmuir Probe를 이용한 유도결합형 플라즈마의 측정

이영환 ,  조주웅 ,  김광수 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

2003 .07

Study of optical emission spectroscopy measurement in oxide thin film deposition process for plasma

Tae-Hoon Jo ,  Myoung-Soo Yun ,  HyeJin Pa 외 3명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2013 .11

대기압 플라즈마 유동장에 삽입된 랑뮤어 프로브의 영향에 관한 수치적 연구

백재상 ,  황정훈 ,  이종철 외 1명

대한기계학회 춘추학술대회

2006 .11

잔류가스분석기 및 발광 분광 분석법을 통한 중간압력의 NF₃ 플라즈마 실리콘 식각 공정

권희태 ,  김우재 ,  신기원 외 3명

반도체디스플레이기술학회지

2018 .01

이차원 하이브리드 모델을 이용한 원통형 플라즈마내의 Langmuir Probe 동작해석

金燻 ,  Robe ,  t K. Po 외 1명

전기학회논문지

1995 .06

A Neural Network Model of Optical Emission Spectroscopy During Tungsten Interconnect Etch Process

Byung Whan Kim ,  Chang Ju Choi ,  Jun Hyop Sun 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

A Neural Network Model of Optical Emission Spectroscopy During Tungsten Interconnect Etch Process

Byungwhan Kim ,  Chang Ju Choi ,  Jun Hyop Sun 외 2명

제어로봇시스템학회 합동학술대회 논문집

1998 .03

Trends in Diagnostics

In Soo Kim

한국생물공학회 학술대회

2011 .04

Quantitative Analysis for Plasma Etch Modeling Using Optical Emission Spectroscopy : Prediction of Plasma Etch Responses

Young-Seon Jeong ,  Sangheum Hwang ,  Young-Don Ko

Industrial Engineering & Management Systems

2015 .12

Effects of Pulsating RF Bias Power on Deep Si Via Etching

Seung-Hwan Lee ,  Young-Dae Lim ,  Won-Jong Yoo 외 3명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2008 .06

Actinometric Investigation of In-Situ Optical Emission Spectroscopy Data in SiO2 Plasma Etch

Boom Soo Kim ,  홍상진

Transactions on Electrical and Electronic Materials

2012 .01

광 센서를 이용한 공정 진단법

이창석 ,  김동희

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2015 .11

Study of Surface Reaction and Gas Phase Chemistries in High Density C4F8/O2/Ar and C4F8/O2/Ar/CH2F2 Plasma for Contact Hole Etching

김관하

Transactions on Electrical and Electronic Materials

2015 .01

Optical Diagnostics for Velocity, Temperature and Spice Measurements of the Flow Field

Toshio KOBAYASHI ,  Hui HU ,  Tetsuo SAGA

KOREA-JAPAN Joint Seminar on Particle Image Velocimetry

1999 .12

CFD 분석을 통한 열플라즈마 측정법 향상

이종철 ,  허중식 ,  김윤제

대한기계학회 춘추학술대회

2008 .04

PIV Measurement of Non-Pulsating and Pulsating Free Jets ( Velocity and Entrainment in the Developing Region )

Junichi Ohta ,  Yuichi Mu ,  ai 외 5명

KSME/JSME THERMAL and FLUID Engineering Conference

1998 .08

ECR Reactor 내의 Langmuir Probe 시뮬레이션

김훈 ,  Robe ,  t K. Po 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

1994 .07

Performance Characteristics in Pulsating Combustion

Sang Heun Oh

대한기계학회 춘추학술대회

1984 .01

Langmuir막과 Langmuir-Blodgett막의 전기적 특성 ( Electrical Properties of Langmuir and Langmuir-Blodgett Films )

미쯔마사 이와모또 ,  강도열

대한전자공학회 학술대회

1989 .01