A Neural Network Model of Optical Emission Spectroscopy During Tungsten Interconnect Etch Process

Byungwhan Kim ,  Chang Ju Choi ,  Jun Hyop Sun 외 2명

제어로봇시스템학회 합동학술대회 논문집

1998 .03

TYNGSTEN ETCHBACK PROCESS FOR SUB-HALF MICRON CONTACTS USING HELICON HIGH DENSITY PLASMA

Kwon ,  O.Sung ,  Choi 외 7명

Fabrication and Characterization of Advanced Materials

1995 .01

Estimation of tungsten tip by electrochemical etching

Duy-Cuong Le ,  Huyn-Chul Kim

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2012 .10

A Plasma-Etching Process Modeling Via a Polynomial Neural Network

Dongwon Kim ,  Byungwhan Kim ,  Gwi-Tae Pa 외 1명

[ETRI] ETRI Journal

2004 .08

Anisotropic Etching of Tungsten with ICP System

정창영 ,  송기창 ,  전영삼 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

Optical Neural Computer

김은수

한국통신학회 워크샵

1989 .01

Optical Neural Computer

김은수

대한전자공학회 워크샵

1989 .01

ICP ETCHING OF TUNGSTEN FOR X-RAY MASKS

C. Jeong ,  K. Song ,  C. Pa 외 4명

한국표면공학회지

1996 .12

전기화학적 에칭에 의한 AFM용 텅스텐 탐침의 강성 제어

한규범 ,  이승제 ,  안효석

Tribology and Lubricants

2014 .08

잔류가스분석기 및 발광 분광 분석법을 통한 중간압력의 NF₃ 플라즈마 실리콘 식각 공정

권희태 ,  김우재 ,  신기원 외 3명

반도체디스플레이기술학회지

2018 .01

Diagnostics of Pulsating Plasma Etching Process Using Langmuir Probe Measurement and Optical Emission Spectroscopy

이승환 ,  임영대 ,  유원종 외 3명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2009 .05

Via Contact 형성을 위한 산화막 식각공정의 신경망 모델

배윤규 ,  권성구 ,  김병환 외 4명

전기전자재료학회논문지

2002 .01

Optical Fuzzy-Neural Network System

Kazuho Tomano

ICONIP : International Conference On Neural Information Processing

1994 .01

신경회로망을 이용한 플라즈마 식각공정제어에 관한 연구

차상엽 ,  고택범 ,  유정식 외 4명

제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집

1995 .10

Study of optical emission spectroscopy measurement in oxide thin film deposition process for plasma

Tae-Hoon Jo ,  Myoung-Soo Yun ,  HyeJin Pa 외 3명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2013 .11

A Study on the Anisotropic Etching of Tungsten-Nitride Using SF6 Plasma

정창영 ,  송기창 ,  전영삼 외 4명

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

A Research on the Anisotropic Etching of Tungsten-Nitride for X-Ray Mask

H. G. Lee ,  C. Y. Jeong ,  S. Y. Lee 외 6명

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

Selective Growth of Carbon Nanotubes using Two-step Etch Scheme for Semiconductor Via Interconnects

Sunwoo Lee ,  SangYeob Na

Journal of Electrical Engineering & Technology

2011 .03

Quantitative Analysis for Plasma Etch Modeling Using Optical Emission Spectroscopy : Prediction of Plasma Etch Responses

Young-Seon Jeong ,  Sangheum Hwang ,  Young-Don Ko

Industrial Engineering & Management Systems

2015 .12

Lead-Frame 에칭공정에서 몬테카를로 시뮬레이션을 이용한 에칭특성 예측

정흥철 ,  최경민 ,  김덕줄

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

2006 .01