고주파 유도결합 플라즈마의 전자에너지 분포함수 계측에 관한 연구

하장호 ,  전용우 ,  최상태 외 2명

조명·전기설비학회논문지

1999 .11

유도 결합형 열 플라즈마의 특성 연구

신홍민 ,  최경철 ,  김원규 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

1991 .11

고주파 유도방전 플라즈마의 푸로우브법에 의한 계측

박성근 ,  박상윤 ,  하장호 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

1997 .07

유도결합형 제논 플라즈마의 전자온도, 전자밀도 특성

허인성 ,  최기승 ,  이종찬 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

2005 .07

Ar 가스 압력에 따른 유도결합형 플라즈마의 전자 밀도 측정

李永煥 ,  金光洙 ,  趙胄雄 외 1명

전기학회논문지 C

2003 .11

유체시뮬레이션을 통한 대면적 유도결합 플라즈마의 최적화 특성 연구

손의정 ,  이호준

대한전기학회 학술대회 논문집

2017 .10

자화된 유도 결합 열 플라즈마의 특성 연구

申泓旻 ,  崔景喆 ,  金元圭 외 1명

전기학회논문지

1993 .04

고주파 유도결합 플라즈마의 전자에너지 분포함수 특성에 관한 연구

황동원 ,  하장호 ,  전용우 외 4명

한국조명·전기설비학회 학술대회논문집

1998 .11

유체시뮬레이션을 이용한 aspect ratio에 따른 유도결합플라즈마의 최적화 특성 연구

손의정 ,  이호준

대한전기학회 학술대회 논문집

2018 .10

유도결합 플라즈마 장치의 유한 요소 해석

김이슬 ,  이재욱

대한기계학회 춘추학술대회

2014 .11

유도결합형 Ar 플라즈마의 압력에 따른 전기적 특성분석

趙胄雄 ,  李永煥 ,  金光洙 외 3명

전기학회논문지 C

2004 .03

대형 유도 결합 플라즈마 시스템의 플라즈마 수치 해석

주정훈

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2016 .05

유도결합 플라즈마를 이용한 크름 증착에 관한 연구

정승재 ,  이광희 ,  이정중 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2001 .06

Langmuir Probe를 이용한 유도결합형 플라즈마의 측정

이영환 ,  조주웅 ,  김광수 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

2003 .07

유도 결합 플라즈마를 이용한 Y₂O₃ 박막의 식각 특성 연구 ( A Study on Etch Characteristics of Y₂O₃ Thin Films in Inductively Coupled Plasma )

김영환 ,  김창일

전자공학회논문지-SD

2001 .09

Control of electron temperature and ion ratios in inductively coupled plasma using grid bias voltage

K. H. Bal ,  J. I. Hong ,  S. J. Ryu 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2001 .06

고주파 유도방전 플라즈마 특성에 관한 연구

박원주

조명·전기설비학회논문지

1999 .08

시간적으로 분해된 레이저 유도 플라즈마의 광 에너지 변환에 대한 실험

오성균 ,  배상은 ,  도형록

대한기계학회 춘추학술대회

2018 .04

대면적 플라즈마 공정을 위한 내장형 선형 안테나을 이용한 유도결합형 플라즈마에 관한 연구

임종혁 ,  김경남 ,  염근영

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2006 .04