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이용수
Abstract
1. 서론
2. 본론
3. 결론
[참고문헌]
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고주파 유도결합 플라즈마의 전자에너지 분포함수 계측에 관한 연구
조명·전기설비학회논문지
1999 .11
유도 결합형 열 플라즈마의 특성 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
1991 .11
고주파 유도방전 플라즈마의 푸로우브법에 의한 계측
대한전기학회 학술대회 논문집
1997 .07
유도결합형 제논 플라즈마의 전자온도, 전자밀도 특성
대한전기학회 학술대회 논문집
2005 .07
Ar 가스 압력에 따른 유도결합형 플라즈마의 전자 밀도 측정
전기학회논문지 C
2003 .11
유체시뮬레이션을 통한 대면적 유도결합 플라즈마의 최적화 특성 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2017 .10
자화된 유도 결합 열 플라즈마의 특성 연구
전기학회논문지
1993 .04
고주파 유도결합 플라즈마의 전자에너지 분포함수 특성에 관한 연구
한국조명·전기설비학회 학술대회논문집
1998 .11
유체시뮬레이션을 이용한 aspect ratio에 따른 유도결합플라즈마의 최적화 특성 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2018 .10
유도결합 플라즈마 장치의 유한 요소 해석
대한기계학회 춘추학술대회
2014 .11
유도결합형 Ar 플라즈마의 압력에 따른 전기적 특성분석
전기학회논문지 C
2004 .03
대형 유도 결합 플라즈마 시스템의 플라즈마 수치 해석
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2016 .05
유도결합 플라즈마를 이용한 크름 증착에 관한 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2001 .06
Langmuir Probe를 이용한 유도결합형 플라즈마의 측정
대한전기학회 학술대회 논문집
2003 .07
유도 결합 플라즈마를 이용한 Y₂O₃ 박막의 식각 특성 연구 ( A Study on Etch Characteristics of Y₂O₃ Thin Films in Inductively Coupled Plasma )
전자공학회논문지-SD
2001 .09
Control of electron temperature and ion ratios in inductively coupled plasma using grid bias voltage
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2001 .06
고주파 유도방전 플라즈마 특성에 관한 연구
조명·전기설비학회논문지
1999 .08
시간적으로 분해된 레이저 유도 플라즈마의 광 에너지 변환에 대한 실험
대한기계학회 춘추학술대회
2018 .04
대면적 플라즈마 공정을 위한 내장형 선형 안테나을 이용한 유도결합형 플라즈마에 관한 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2006 .04
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