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목차
Abstract
1. 서론
2. 유도 결합형 열 플라즈마의 정의
3. 수치 해석
4. 해석의 결과
5. 결론
참고문헌
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전기학회논문지 C
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2014 .11
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한국표면공학회 학술발표회 초록집
2016 .05
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유도 결합 플라즈마를 이용한 Y₂O₃ 박막의 식각 특성 연구 ( A Study on Etch Characteristics of Y₂O₃ Thin Films in Inductively Coupled Plasma )
전자공학회논문지-SD
2001 .09
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랑뮤어 탐침과 컷오프 탐침을 이용한 자화유도결합 플라즈마의 특성 연구
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Etching characteristics of Al-Nd alloy thin films using magnetized inductively coupled plasma
한국표면공학회 학술발표회 초록집
1999 .10
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직류 열 플라즈마의 발생 및 그 특성에 관한 연구
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2016 .10
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