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한국조명·전기설비학회 한국조명·전기설비학회 학술대회논문집 한국조명·전기설비학회 1998년도추계 학술발표회논문집
발행연도
1998.11
수록면
131 - 133 (3page)

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고주파 유도결합 플라즈마의 전자에너지 분포함수 특성에 관한 연구
황동원 ,  하장호 ,  전용우 외 4명 한국조명·전기설비학회 학술대회논문집 1998.11 학술대회자료
고주파 유도결합 플라즈마의 전자에너지 분포 계측(Ⅱ)
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Electron temperature. electron density and electron energy distribution function were measured in Radio-Frequency Inductively Coupled Plasma(RFICP) using a probe method. Measurements were conducted in argon discharge for pressure from 10 mTorr to 40 mTorr and input rf power from 100W to 600W and flow rate from 3 sccm to 12 sccm. Spatial distribution of electron temperature. electron density and electron energy distribution function were measured for discharge with same aspect ratio (R/L=2). Electron temperature was found to depend on pressure. but only weakly on power. Electron density a ... 전체 초록 보기

목차

Abstract
1. 서론
2. 본론
3. 결론
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