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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
이영석 (충남대학교 물리학과) 이장재 (충남대학교 물리학과) 김시준 (충남대학교 물리학과) 유신재 (충남대학교 물리학과)
저널정보
한국반도체디스플레이기술학회 반도체디스플레이기술학회지 반도체디스플레이기술학회지 제17권 제1호
발행연도
2018.1
수록면
76 - 83 (8page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2018

2온도전자분포를 갖는 아르곤 플라즈마에서 온도가 다른 전자그룹의 상대적인 기여도에 대한 연구
이영석 물리학과 2018.01 학위논문
열적 비평형 전자분포를 갖는 아르곤 플라즈마의 두 전자그룹의 상대적인 기여도에 대한 연구
이영석 ,  이장재 ,  김시준 외 1명 반도체디스플레이기술학회지 2018.01 학술저널

초록· 키워드

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The electron energy probability function (EEPF) is of significant importance since the plasma chemistry such as the rate of ionization is determined by the electron energy distribution function. It is usually assumed to be Maxwell distribution for 0-D global model. Meanwhile, it has been observed experimentally that the form of EEPF of Ar plasma changes from being two-temperature to Druyvesteyn like as the gas pressure increases. Thus, to apply the 0-D global model of Maxwellian distribution to the non-Maxwellian plasma, we investigated the relative contribution of two distinct electrons with different temperatures. The contributions of cold/hot electrons to the equilibrium state of the plasma have attracted interest and been researched. The contributions to the power and particle balance of cold/hot electrons were studied by comparing the result of the global model considering all combinations of electron temperatures with that of 1-D Particle-in-Cell and Monte Carlo collision (PIC-MCC) simulation and the results of studies were analyzed physically. Furthermore, comparisons term by term for variations of the contribution of cold/hot electrons at different driving currents are presented.
#Plasma #Plasma Characteristics #Non-thermal Equilibrium #Electron Temperature

목차

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참고문헌 (6)

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Godyak, V. A. / 1990 / Abnormally Low Electron Energy and Heating-Mode Transition in a Low-Pressure Argon rf Discharge at 13.56 MHz / Phys. Rev. Lett 65:996~999 google schola Boswell, R. W. / 1992 / Bohm Velocity With a Two-Temperature Distribution of Negative Particles / IEEE Trans. Plasma Sci 20:62~65 google schola Godyak, V. alery A. / 1995 / Tonks-Langmuir Problem for a Bi-Maxwellian Plasma / IEEE. Trans. Plasma Sci 23:728~734 google schola Lieberman, Michael A. / 2005 / Principles of Plasma Discharges and Materials Processing / Wiley :399~406 google schola Gudmundsson, J. T. / 2004 / Recombination and detachment in oxygen discharges : the role of metastable oxygen molecules / J. Phys. D : Appl. Phys 37:2073~2081 google schola

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