CF₄, CH₄, Ar 혼합기체의 전자 평균에너지

김상남

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자료유형: 학술저널

저자정보: 김상남 (국립인천대학교)

저널정보: 대한전기학회 전기학회논문지 P 전기학회논문지 제64P권 제4호

발행연도: 2015.12

수록면: 241 - 245 (5page)

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Energy Distribution Function in pure CH₄, CF₄ and mixtures of CF₄ and Ar, have been analyzed over a range of the reduced electric field strength between 0.1 and 350[Td] by the two-term approximation of the Boltzmann equation (BEq.) method and the Monte Carlo simulation (MCS). The calculations of electron swarm parameters require the knowledge of several collision cross-sections of electron beam. Thus, published momentum transfer, ionization, vibration, attachment, electronic excitation, and dissociation cross-sections of electrons for CH₄, CF₄ and Ar, were used. The differences of the transport coefficients of electrons in CH₄, mixtures of CH₄ and Ar, have been explained by the deduced energy distribution functions for electrons and the complete collision cross-sections for electrons. The results of the Boltzmann equation and the Monte Carlo simulation have been compared with the data presented by several workers. The deduced transport coefficients for electrons agree reasonably well with the experimental and simulation data obtained by Nakamura and Hayashi. The energy distribution function of electrons in CF₄-Ar mixtures shows the Maxwellian distribution for energy. That is, f(ε) has the symmetrical shape whose axis of symmetry is a most probably energy.

#Monte Carlo simulation(MCS) #Boltzmann equation(BEq) #Mean energy #Tetrafluoro methane

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[단행본] - Flamm D. L. / 997 / NATO ASI series : 1 ~ 22

[학술대회논문] - H. Itoh. / 1993 / Development of electrons swarms in CF4 / Proc. 21st int. Conf. on Phenomena in Ionized Gases : 245 ~ 246

[학술지(정기간행물)] - R. W. L. Thomas. / 1969 / Monte Carlo Simulation of electrical discharge in gases / J. Phys. B 2 : 562 ~ 570

[단행본] - E. W. Mc Danie,l / 973 / The Mobility and Diffusion off Ions in Gases / John Wiley and Sons. Inc : 3 ~ 82

[학술지(정기간행물)] - S. A. J. Al-Amin. / / Electron swarm parameters in oxygen and methane / J. Phys. D:Appl

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