Ar 가스 압력에 따른 유도결합형 플라즈마의 전자 밀도 측정

李永煥 ,  金光洙 ,  趙胄雄 외 1명

전기학회논문지 C

2003 .11

고주파 유도결합 플라즈마의 전자에너지 분포 계측(Ⅱ)

황동원 ,  하장호 ,  전용우 외 4명

대한전기학회 학술대회 논문집

1998 .07

유도 결합형 열 플라즈마의 특성 연구

신홍민 ,  최경철 ,  김원규 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

1991 .11

고주파 유도방전 플라즈마 특성에 관한 연구

박원주

조명·전기설비학회논문지

1999 .08

Control of electron temperature and ion ratios in inductively coupled plasma using grid bias voltage

K. H. Bal ,  J. I. Hong ,  S. J. Ryu 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2001 .06

고주파 유도결합 플라즈마의 전자에너지 분포함수 특성에 관한 연구

황동원 ,  하장호 ,  전용우 외 4명

한국조명·전기설비학회 학술대회논문집

1998 .11

유체시뮬레이션을 통한 대면적 유도결합 플라즈마의 최적화 특성 연구

손의정 ,  이호준

대한전기학회 학술대회 논문집

2017 .10

정전 탐침법과 유체 시뮬레이션을 이용한 유도결합 Ar 플라즈마의 특성 연구

차주홍 ,  이호준

전기학회논문지

2016 .07

고주파 유도결합 플라즈마의 전자에너지 분포함수 계측에 관한 연구

하장호 ,  전용우 ,  최상태 외 2명

조명·전기설비학회논문지

1999 .11

자화된 유도 결합 열 플라즈마의 특성 연구

申泓旻 ,  崔景喆 ,  金元圭 외 1명

전기학회논문지

1993 .04

고주파 유도방전 플라즈마 특성에 관한 연구(Ⅰ)

박성근 ,  박상윤 ,  박원주 외 2명

한국조명·전기설비학회 학술대회논문집

1996 .11

유체시뮬레이션을 이용한 aspect ratio에 따른 유도결합플라즈마의 최적화 특성 연구

손의정 ,  이호준

대한전기학회 학술대회 논문집

2018 .10

산소 유량별 플라즈마 방출광원 세기에 따른 전자온도 진단과 산화주석박막 특성연구

박혜진 ,  최진우 ,  조태훈 외 2명

한국표면공학회지

2016 .02

유도결합형 Ar 플라즈마의 압력에 따른 전기적 특성분석

趙胄雄 ,  李永煥 ,  金光洙 외 3명

전기학회논문지 C

2004 .03

유도결합 플라즈마 장치의 유한 요소 해석

김이슬 ,  이재욱

대한기계학회 춘추학술대회

2014 .11

대형 유도 결합 플라즈마 시스템의 플라즈마 수치 해석

주정훈

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2016 .05

유체 모델을 이용한 유전체 장벽 방전 플라즈마와 전자기파 간의 시간 의존적 상호 작용 분석

김유나 ,  오일영 ,  정인균 외 2명

한국전자파학회논문지

2014 .08

유도결합 플라즈마에서 두 안테나의 구조에 따른 특성 연구

김진성 ,  방진영 ,  이효창 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

2007 .11

유도결합 플라즈마를 이용한 크름 증착에 관한 연구

정승재 ,  이광희 ,  이정중 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2001 .06

유도 결합 플라즈마를 이용한 Y₂O₃ 박막의 식각 특성 연구 ( A Study on Etch Characteristics of Y₂O₃ Thin Films in Inductively Coupled Plasma )

김영환 ,  김창일

전자공학회논문지-SD

2001 .09