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이용수
Abstract
1. 서론
2. 본론
3. 결론
감사의 글
[참고문헌]
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2003 .11
고주파 유도결합 플라즈마의 전자에너지 분포 계측(Ⅱ)
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유도 결합형 열 플라즈마의 특성 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
1991 .11
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1999 .08
Control of electron temperature and ion ratios in inductively coupled plasma using grid bias voltage
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2001 .06
고주파 유도결합 플라즈마의 전자에너지 분포함수 특성에 관한 연구
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1998 .11
유체시뮬레이션을 통한 대면적 유도결합 플라즈마의 최적화 특성 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2017 .10
정전 탐침법과 유체 시뮬레이션을 이용한 유도결합 Ar 플라즈마의 특성 연구
전기학회논문지
2016 .07
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조명·전기설비학회논문지
1999 .11
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전기학회논문지
1993 .04
고주파 유도방전 플라즈마 특성에 관한 연구(Ⅰ)
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1996 .11
유체시뮬레이션을 이용한 aspect ratio에 따른 유도결합플라즈마의 최적화 특성 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2018 .10
산소 유량별 플라즈마 방출광원 세기에 따른 전자온도 진단과 산화주석박막 특성연구
한국표면공학회지
2016 .02
유도결합형 Ar 플라즈마의 압력에 따른 전기적 특성분석
전기학회논문지 C
2004 .03
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대한기계학회 춘추학술대회
2014 .11
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2016 .05
유체 모델을 이용한 유전체 장벽 방전 플라즈마와 전자기파 간의 시간 의존적 상호 작용 분석
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2014 .08
유도결합 플라즈마에서 두 안테나의 구조에 따른 특성 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2007 .11
유도결합 플라즈마를 이용한 크름 증착에 관한 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2001 .06
유도 결합 플라즈마를 이용한 Y₂O₃ 박막의 식각 특성 연구 ( A Study on Etch Characteristics of Y₂O₃ Thin Films in Inductively Coupled Plasma )
전자공학회논문지-SD
2001 .09
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