유도결합형 플라즈마에서 압력에 따른 Ar Gas의 특성분석

조주웅 ,  이영환 ,  허인성 외 4명

대한전기학회 학술대회 논문집

2003 .07

Ne, Ar, Kr 혼합가스에서의 유도결합형 플라즈마 방전특성

허인성 ,  최용성 ,  이종찬 외 2명

한국조명·전기설비학회 학술대회논문집

2004 .11

Ar/N₂ 및 Kr/N₂ 혼합가스의 교류절연파괴 특성

李相雨 ,  金寅湜 ,  李東仁 외 2명

전기학회논문지 C

2001 .12

Ar/N₂ 및 Kr/N₂ 혼합 가스의 교류절연파괴 특성

이상우 ,  김이국 ,  김인식 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

2001 .07

압력변화에 따른 Ar/N₂ 및 Kr/N₂ 혼합가스의 절연파괴 특성

이상우 ,  이동인 ,  이광식 외 3명

조명·전기설비학회논문지

2002 .01

13.56㎒ ICP에서 단일 탐침법에 의한 Ar, Ne 가스의 발광특성 연구

조주웅 ,  최용성 ,  김용갑 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

2004 .11

유도결합형 Ar 플라즈마의 압력에 따른 전기적 특성분석

趙胄雄 ,  李永煥 ,  金光洙 외 3명

전기학회논문지 C

2004 .03

Ar 가스 압력에 따른 유도결합형 플라즈마의 전자 밀도 측정

李永煥 ,  金光洙 ,  趙胄雄 외 1명

전기학회논문지 C

2003 .11

압력변화에 따른 Ar/N₂ 및 Kr/N₂ 혼합가스의 절연파괴 특성

이상우 ,  이동인 ,  이광식 외 3명

한국조명·전기설비학회 학술대회논문집

2001 .11

Ar 가스 압력과 RF 전력변화에 따른 유도결합형 플라즈마 E-H모드 변환의 광학적 특성

許寅盛 ,  趙胄雄 ,  李永煥 외 3명

전기학회논문지 C

2004 .01

AC-PDP의 방전갭과 가스압력에 따른 Xe-Kr-Ne mixture gas 방전특성 연구

한문기 ,  하창승 ,  이돈규 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

2007 .11

Ar/CF4 Gas를 이용한 대면적 유도결합 플라즈마의 광분석 장치 개발에 관한 연구

손의정 ,  윤용수 ,  김동현 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

2014 .07

Kr-Ne-Xe 혼합가스에서의 AC PDP 방전 특성 연구

윤초롬 ,  박현동 ,  이돈규 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

2006 .10

ICP 광원 시스템의 Ne:Xe Ne:Ar 혼합가스의 전자온도 및 전자밀도의 특성 연구

최기승 ,  이종찬 ,  최용성 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

2005 .07

유체 시뮬레이션을 이용한 Ar/H₂ 유도 결합형 플라즈마 소스의 중성 기체 온도 구배 효과에 관한 연구

서권상 ,  김동현 ,  이호준

대한전기학회 학술대회 논문집

2018 .10

유체 시뮬레이션과 정전 탐침법을 이용한 유도결합 Ar 플라즈마 특성에 관한 연구

차주홍 ,  이호준

대한전기학회 학술대회 논문집

2016 .07

Etching Characteristics and Mechanism of Low Temperature Deposited Silicon Nitride Film Using Inductively Coupled CH₂F₂/O₂/Ar Plasma

Jinyoung Son ,  Junmyung Lee ,  Inwoo Chun 외 3명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2013 .11

유체시뮬레이션을 통한 Ar/CF₄ 자화유도결합 플라즈마의 특성 연구

김윤기 ,  손의정 ,  위성석 외 2명

전기학회논문지

2015 .04

지하수 조사에서 환경추적자로서의 $SF_6$의 적용

고동찬 ,  김용제

한국지하수토양환경학회 학술발표회

2003 .01

ICP 광원 시스템의 Ne:Xe 및 Ne:Ar 혼합가스의 전자온도의 전자밀도 특성

崔起承 ,  李鐘餐 ,  崔龍成 외 1명

전기학회논문지 C

2006 .03