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이용수
Abstract
1. 서론
2. 실험방법 및 장치
3. 실험결과 및 고찰
결론
[참고문헌]
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유도 결합형 SF₆플라즈마 특성에 관한 연구
한국조명·전기설비학회 학술대회논문집
1999 .11
자화된 평판형 유도 결합 SF₆ 플라즈마의 특성
대한전기학회 학술대회 논문집
1995 .11
에칭 프로세스를 위한 SF₆/O₂ 플라즈마 특성에 관한연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2000 .07
SF6 아크플라즈마 해석을 위한 프로그램 개발
대한전기학회 학술대회 논문집
2002 .07
SF₆/N₂ 혼합기체의 대기압 플라즈마 특성 분석
전기학회논문지 P
2009 .12
유도 결합형 열 플라즈마의 특성 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
1991 .11
저진공 축전결합형 SF, SF/O, SF/CH 플라즈마를 이용한 아크릴의 반응성 건식 식각
한국재료학회지
2009 .01
유도결합 플라즈마 장치의 유한 요소 해석
대한기계학회 춘추학술대회
2014 .11
SF₆ 기체와 SF₆-N₂ 혼합기체의 초기코로나 특성
대한전기학회 학술대회 논문집
2000 .07
대형 유도 결합 플라즈마 시스템의 플라즈마 수치 해석
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2016 .05
유도 결합 플라즈마를 이용한 Y₂O₃ 박막의 식각 특성 연구 ( A Study on Etch Characteristics of Y₂O₃ Thin Films in Inductively Coupled Plasma )
전자공학회논문지-SD
2001 .09
불평등전계하의 AC인가시 액체 SF₆의 기포거동과 절연특성
한국조명·전기설비학회 학술대회논문집
2011 .05
온도변화에 따른 SF₆ 가스의 절연특성
대한전기학회 학술대회 논문집
2002 .07
유도결합 플라즈마를 이용한 크름 증착에 관한 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2001 .06
SF₆ 가스차단기에서 아크플라즈마에 의한 비정상 유동특성
대한전기학회 학술대회 논문집
2002 .11
평판형 유도결합 BCl₃/SF₆플라즈마를 이용한 GaAs/AlGaAs 선택적 식각에 관한 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2004 .11
SF₆ 가스의 온도변화에 따른 절연특성
전기학회논문지 C
2003 .08
불평등전장에서 SF₆와 SF₆/N₂ 혼합기체의 뇌임펄스 전압에 대한 코로나 방전특성
대한전기학회 학술대회 논문집
2004 .11
자화된 SF₆ 유도결합형 플라즈마를 이용한 SiC 식각 특성에 관한 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2003 .05
SF₆/O₂ 플라즈마를 이용한 금속 표면 방사성 오염물질의 제염 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2005 .11
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