자화된 SF₆ 유도결합형 플라즈마를 이용한 SiC 식각 특성에 관한 연구

이효영; 김동우; 박병재; 염근영

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 이효영 김동우 박병재 염근영

저널정보: 한국표면공학회 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2003년도 춘계 학술발표회 초록집

발행연도: 2003.5

수록면: 14 - 14 (1page)

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이효영

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