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목차
Abstract
1. 서론
2. 실험 방법
3. 실험 결과 및 고찰
4. 결론
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유도결합형 플라즈마에서 압력에 따른 Ar Gas의 특성분석
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자화된 유도 결합 열 플라즈마의 특성 연구
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1993 .11
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유체시뮬레이션을 통한 Ar/CF₄ 자화유도결합 플라즈마의 특성 연구
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유도결합형 Ar 플라즈마의 압력에 따른 전기적 특성분석
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2004 .03
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