평판형 유도 결합 플라즈마를 이용한 GaN 건식 식각 특성

김문영 ,  김태현 ,  장상훈 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

1997 .11

BCl 기반의 혼합가스들을 이용한 InP 고밀도 유도결합 플라즈마 식각

조관식 ,  임완태 ,  백인규 외 2명

한국재료학회지

2003 .01

평판 유도 결합형 CH₄/H₂/Ar 플라즈마를 이용한 GaN 건식 식각 특성

金文永 ,  白榮植 ,  太興植 외 3명

전기학회논문지 C

1999 .09

자화 유도 결합형 CH₄/H₂/Ar 플라즈마를 이용한 GaN 건식 식각 특성

金文永 ,  沈鍾庚 ,  太興植 외 4명

전기학회논문지 C

2000 .04

유도 결합형 Cl₂계 플라즈마를 이용한 GaN 식각 특성에 관한 연구

김현수 ,  이재원 ,  김태일 외 1명

한국표면공학회지

1999 .04

평판 유도 결합형 CH₄/H₂/Ar 플라즈마를 이용한 GaN 건식 식각에서 공정 변수가 저항성 접촉 형성에 미치는 영향

金文永 ,  太興植 ,  李昈駿 외 3명

전기학회논문지 C

2000 .08

Direct Wafer Bonding법에 의한 InP 기판과 $\textrm{Si}_3\textrm{N}_4$/InP의 접합특성

김선운 ,  신동석 ,  이정용 외 1명

한국재료학회지

1998 .01

유도 결합 플라즈마를 이용한 Y₂O₃ 박막의 식각 특성 연구 ( A Study on Etch Characteristics of Y₂O₃ Thin Films in Inductively Coupled Plasma )

김영환 ,  김창일

전자공학회논문지-SD

2001 .09

( 100 ) 면 InP 결정 습식 식각 특성 ( Wet Etching Properties of ( 100 ) Surface InP Crystal )

임우택 ,  김우진 ,  김재영 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1991 .11

${Cl}_{2}/{BCl}_{3}$ 유도 결함형 플라즈마를 이용한 GaN 식각 특성

이용혁 ,  김현수 ,  권용성 외 5명

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

GaN 박막의 ICP 식각후의 광특성

한윤봉 ,  최창선 ,  임연호 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

2000 .01

P+ -In_0.53Ga_0.47As/InP의 저항성 접촉 특성

김남준 ,  이재혁 ,  김돈수 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1995 .06

CH4 / H2를 사용한 InP계 광전소자의 건식 식각 공정에 관한 연구 ( Research on the dry etching condition for InP optoelectronic device using CH4 / H2 )

박종대 ,  유지범 ,  박찬용 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1993 .11

InP의 습식식각특성과 InP/InGaAs HBT의 제작

김강대 ,  박재홍 ,  김용규 외 2명

대한전자공학회 학술대회

2002 .06

Dry Etching characteristics of GaN Using Reactive Ion Beam

J. W. Lee ,  H. S. Kim ,  Y. J. Pa 외 2명

OPTOELECTRONICS & COMMUNICATIONS CONFERENCE

1997 .01

CH₄/H₂를 사용한 InP계 광전소자의 건식 식각 공정에 관한 연구

박종대 ,  유지범 ,  박찬용 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1993 .11

Inductively coupled plasma reactive ion etching of ZnO using C2F6 gas

이건교 ,  이병택

한국재료학회 학술발표대회

2005 .01

InP / InP , InCaAs / InP의 OMVPE 성장 및 도우핑 특성 ( OMVPE Growths of InP / InP , InGaAs / InP and Doping Characteristics )

박기성 ,  오대곤 ,  주무정 외 1명

한국통신학회 학술대회논문집

1988 .01

InP / InP , InCaAs / InP 의 OMVPE 성장 및 도우핑 특성 ( OMVPE Growths of InP / InP , InGaAs / InP and Doping Characteristics )

박기성 ,  오대곤 ,  주무정 외 1명

특정연구 결과 발표회 논문집

1988 .01

GaN계 질화합물 반도체의 습식식각 연구

유관기 ,  이성대 ,  이일형 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1998 .06