$NF_3$ 유도결합플라즈마(ICP)를 이용한 SiC 단결정 식각에 관한 연구

최현준; 박주훈; 이병택

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 최현준 (전남대학교 금속공학과) 박주훈 (전남대학교 금속공학과) 이병택 (전남대학교 금속공학과)

저널정보: 한국재료학회 한국재료학회 학술발표대회 한국재료학회 2001년도 추계 학술발표강연 및 논문개요집

발행연도: 2001.1

수록면: 156 - 156 (1page)

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