전자 회전 공명 플라즈마 발생 장치에서의 CF₄ 방전사 Appearance Mass Spectrometry 와 Actinometry를 통한 플루오로카본 래디칼과 플루오린 원자의 거동에 관한 연구

도현호; 김정훈; 이석현; 황기웅

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저자정보: 도현호 김정훈 이석현 황기웅

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제9회 학술발표회논문개요집

발행연도: 1995.6

수록면: 97 - 98 (2page)

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1995

전자 회전 공명 플라즈마 발생 장치에서의 CF₄+H₂ 가스 방전시 Appearance Mass Spectrometry와 Actinometry를 통한 플루오로카본 래디칼과 플루오린 원자의 거동에 관한 연구

도현호 , 김정훈 , 이석현 외 1명 Applied Science and Convergence Technology 1995.12 학술저널

전자 회전 공명 플라즈마 발생 장치에서의 CF₄ 방전사 Appearance Mass Spectrometry 와 Actinometry를 통한 플루오로카본 래디칼과 플루오린 원자의 거동에 관한 연구

도현호 , 김정훈 , 이석현 외 1명 한국진공학회 학술발표회초록집 1995.06 학술대회자료

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논문수 18 이용수 734

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황기웅

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