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학술저널
저자정보
김대진 (서강대학교) 오한상 (서강대학교) 김재경 (서강대학교) 박명준 (코렉스) 이문용 (영남대학교) 구기갑 (서강대학교)
저널정보
한국청정기술학회 청정기술 청정기술 제13권 제4호
발행연도
2007.12
수록면
257 - 265 (9page)

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반도체 공정에서 배출되는 폐 포토레지스트 스트리퍼(photoresist strippers)의 주성분인 NMP (N-methyl-pyrrolidione) 와 BDG (Butyldiglycol)를 회수하여 재활용할 목적으로 나선형 스핀밴드시스템(spinning band system) 이 장착되어 있는 진공증류장치를 이용하여 실험실적 규모의 증류실험을 수행하였다. 정제된 NMP와 BDG의 순도는 포토레지스트 스트리퍼용 용제 기준 물성치인 순도 99.5% 이상이었고, 수분 1000 ppm 이하, 색도(APHA) 50 이하, 나트륨 성분을 제외한 대부분의 금속성분은 1 ppb 이하로 반도체용 스트리퍼 용액 제조에 재활용할 수 있는 수준임을 확인하였다. NMP와 BDG의 회수율은 PR 스트리퍼 폐액 A 타입의 경우 NMP 96%, BDG 53%, B 타입의 경우 NMP 93%, BDG 57% 이었다.
#포토레지스트 스트리퍼 #감압증류 #NMP #BDG #Photoresist stripper #Vacuum distillation

목차

요약
Abstract
1. 서론
2. 이론적 배경
3. 실험
4. 결과 및 토론
4. 결론
감사
참고문헌

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