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이기창 (한국전기연구원) 문지우 (한국전기연구원) 구대현 (한국전기연구원) 이민철 (부산대학교)
저널정보
제어로봇시스템학회 제어로봇시스템학회 논문지 제어로봇시스템학회 논문지 제17권 제6호
발행연도
2011.6
수록면
566 - 572 (7page)

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In recent semiconductor and FPD (Flat Panel Display) manufacturing processes, high clean-class delivery operation is required more and more for short working time and better product quality. Traditionally SLIM (Single-sided Linear Induction Motor) is widely used in the liner drive applications because of its simplicity in the rail structure. A magnetically levitated (Maglev) unmanned vehicle with SLIM traction, which is powered by a CPS (Contactless Power Supply) can be a high precision delivery solution for this industry. In this paper unmanned FPD-carrying vehicle, which can levitate without contacting the rail structure, is suggested for high clean-class FPD delivery applications. It can be more acceptable for the complex facilities composed with many processes which require longer rails, because of simple rail structure. The test setup consists of a test vehicle and a rounded rail, in which the vehicle can load and unload products at arbitrary position commanded through wireless communications of host computer. The experimental results show that the suggested vehicle and rail have reasonable traction servo and robust electromagnetic suspensions without any contact. The resolution of point servo errors in the SLIM traction system is accomplished under 1mm. The maximum gap error is ±0.25mm with nominal air gap length of 4.0mm in the electromagnetic suspensions. This type of automated delivery vehicle is expected to have significant role in the clean delivery like FPD glass delivery.
#EMS(Electric Monorail System) #CPS (Contactless Power Supply) #FPD(Flat Panel Display) #Maglev(MagneticLevitation) #class 1 clean room #vacuum room operation #BPS(Bar-code Positioning System) #SLIM(Single-sided Linear Induction Motor)

목차

Abstract
Ⅰ. 서론
Ⅱ. FPD 공정용 Glass 무인 이송 시스템의 기본 설계
Ⅲ. FPD Glass 무인 이송 시스템의 상세 설계/제작
Ⅳ. 비접촉 선형 유도 전동기 추진 제어기 설계
Ⅴ. 실험 셋업 및 실험결과
Ⅵ. 결론 및 고찰
참고문헌

참고문헌 (13)

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3. [학술지(정기간행물)] - 황계호 / 2008 / 비접촉 전원장치에 적용한 직·병렬 공진 DC/DC 컨버터에 관한 연구 / 조명.전기설비학회논문지 22 (5) : 31 ~ 40 dbpia 4. [학술지(정기간행물)] - M. Morishita / 1989 / A new maglev system for magnetically levitated carrier system / IEEE Trans. on Vehicular Technology 38 (4) : 230 ~ 236 google schola 5. [학술지(정기간행물)] - T. Azukixawa / 1989 / A linear induction motor control system for magnetically levitated carrier system / IEEE Trans. on Vehicular Technology 38 (2) : 102 ~ 108 google schola 6. [학술대회논문] - Y. W. Son / 1996 / Magnetically levitated transport system for linear & curvilinear motion using freecontroller carrier / Proc. of the KSME : 527 ~ 532 google schola 9. [학술대회논문] - D.-K. Hong / 2010 / Weight reduction of electromagnet in magnetic levitation system for contactless delivery application / Sensors 2010 google schola

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