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제어로봇시스템학회 제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집 1994년 한국자동제어학술회의 논문집 제1권 제2호
발행연도
1994.10
수록면
997 - 1,002 (6page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

1994

퍼지 적응 제어기를 이용한 플라즈마 식각장비의 제어
노지명 ,  임종태 제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집 1994.10 학술대회자료
퍼지 적응 제어기를 이용한 플라즈마 식각장비의 제어 ( Plasma Etching System Control using Fuzzy Adaptive Controller )
노지명 ,  임종태 대한전자공학회 학술대회 1994.01 학술대회자료

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목차

1. 서론
2. 플라즈마 식각 장치
3. 퍼지 적응 제어기
4. 모의 실험
5. 결론 및 추후 과제
참고문헌

참고문헌 (0)

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