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본 연구에서는 TiO₂/Co/Pd 구조의 다층박막을 마그네트론 스퍼터링으로 GaAs(100), MgO(100), MgO(111), Si(100), glass와 같은 다양한 종류의 기판에 대해 제작하여 수직 자기 이방성에 대해서 연구하였다. 산소 분압 등의 TiO₂ 층의 증착 조건과 기판의 종류에 따른 Co/Pd 층의 수직 자기 이방성을 측정하였다. 그 결과, TiO₂ 층이 5 nm 이하 일 때는 기판의 종류에 영향을 받지만, 그 이상의 두께에 대해서는 MgO(111)을 제외한 기판의 영향이 크지 않음을 확인하였고, 이는 TiO₂ 씨앗층의 성장조건과 계면의 거칠기, 결정방향 등과 관련이 있음을 발견하였다.
목차
I. 서론
II. 실험방법
III. 실험결과
IV. 결론
참고문헌
참고문헌 (10)
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1. [학술지(정기간행물)] - Y. Jiang / 2004 / / Nature Mater 3 : 361 ~
2. [학술지(정기간행물)] - A. D. Kent / 2004 / / Appl. Phys. Lett 84 : 3897 ~
3. [학술지(정기간행물)] - K. J. Lee / 2005 / / Appl. Phys. Lett 86 : 022505 ~
4. [학술지(정기간행물)] - P. M. Braganca / 2005 / / Appl. Phys. Lett 87 : 112507 ~
5. [학술지(정기간행물)] - S. Mangin / 2006 / / Nature Mater 5 : 210 ~
2. [학술지(정기간행물)] - A. D. Kent / 2004 / / Appl. Phys. Lett 84 : 3897 ~
3. [학술지(정기간행물)] - K. J. Lee / 2005 / / Appl. Phys. Lett 86 : 022505 ~
4. [학술지(정기간행물)] - P. M. Braganca / 2005 / / Appl. Phys. Lett 87 : 112507 ~
5. [학술지(정기간행물)] - S. Mangin / 2006 / / Nature Mater 5 : 210 ~
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