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Abstract
1. 서론
2. 광학 헤드 유닛 설계
3. 마이크로렌즈 일체형 개구어레이 제작
4. 광 프로브 평가
5. 결론
참고문헌
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전기학회논문지 C
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기계와 재료
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2013 .04
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2009 .10
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2005 .01
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Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2005 .05
정밀 삼차원 측정을 위한 백색광 간섭 광학 프로브 개발
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2002 .05
초정밀 광학 어레이 밀링 가공 기술 개발
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2012 .05
높은 흐름각 측정이 가능한 7공 프로브 개발
한국항공우주학회 학술발표회 초록집
2005 .11
분기된 구조를 갖는 수직형 MEMS 프로브의 설계
한국전자파학회논문지
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