산업용 Excimer 레이저의 응용현황 ( Applications of Industrial Excimer Lasers )

홍권의

대한전자공학회 학술대회

1987 .01

Excimer Laser Processing for the Electronics Industry

B ,  uce Cap ,  on

Advanced and Future Microelectronics Workshop - Advanced Packaging Technology -

1991 .01

Excimer Laser Lithography Equipment

이종현

대한전자공학회 워크샵

1989 .01

Excimer laser를 이용한 세라믹 미세구멍 가공 ( Ceramic Microhole Machining using Excimer Laser )

백병만 ,  이건상

대한기계학회 춘추학술대회

2001 .01

Excimer laser 처리에 의한 광증폭용 레이저다이오드의 COD level 향상 ( COD level increase of pump laser diode by excimer laser treatment )

이재호 ,  추안구 ,  이원태 외 3명

대한전자공학회 기타 간행물

1995 .01

Excimer laser처리에 의한 광증폭용 레이저다이오드의 COD level향상 ( COD level increase of pump laser diode by excimer laser treatment )

이재호 ,  추안구 ,  이원태 외 3명

한국통신학회 기타 간행물

1995 .01

Excimer laser를 이용한 알루미나(Al₂O₃) 세라믹의 미세구멍 가공 특성에 대한 연구

김병용 ,  이건상

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2001 .05

ArF Excimer Laser Lithography

Masa ,  u Sasago

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

Laser direct writing 방법에 의한 미세유체소자용 패턴 제작 I - 폴리머에 대한 Excimer laser의 반응성 분석 -

신동식 ,  이제훈 ,  서정 외 1명

한국레이저가공학회 학술대회 논문집

2002 .01

The Optical System for ArF Excimer Laser Exposure Tool

정해빈 ,  이각현 ,  김도훈 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

Medical Applications of Excimer and Er : YAG Lasers ＂ Recent Progress in Medical Laser ＂

Uichi Kubo

대한전자공학회 세미나

1996 .01

엑시머 레이저를 이용한 파이렉스 유리의 미세가공 특성 연구

이철재 ,  강정호 ,  김하나 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2012 .05

Excimer 레이저를 이용한 알루미늄 금속선의 Migration 수명의 개선

김영출 ,  김철주

대한전자공학회 학술대회

1992 .06

Excimer 레이저를 이용한 알루미늄 금속선의 Migration 수명의 개선 ( Improvement of Migration Lifetime in Aluminum Metal Line Using Excimer Laser Source )

김영출 ,  김철주

대한전자공학회 학술대회

1992 .07

Numerical Investigation of Excimer Laser Ablation of Nickel and Comparison with Experimental Study

Guo Fei Chen ,  Xian Fan Xu

Heat Transfer Conference

1998 .08

Experimental Study of Ablation of Polymer Material Using Excimer Laser ( Influence of Irradiation Angle )

Hi ,  oshi Ishigu ,  o 외 5명

Heat Transfer Conference

1998 .08

XeCl EXCIMER-LASER 이용하여 열처리된 절연막의 특성 분석

박철민 ,  유준석 ,  최홍석 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

1996 .07

ArF Excimer Laser용 광학계의 Tolerancing

이각현 ,  정해빈 ,  유현준

광학세계

1994 .01

Excimer Laser 응용 실리콘 결정화 공정에 대한 In-Situ 광학적 연구

김우진 ,  윤창환 ,  박승호 외 1명

대한기계학회 춘추학술대회

2003 .04

3차원 마이크로 가공을 위한 새로운 접근법

배창현 ,  최경현

한국동력기계공학회 학술대회 논문집

2001 .11