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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2013.6
- 수록면
- 408 - 413 (6page)
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Micro-features such as grooves and lenses, which perform optical functions in flat displays, should be manufactured with a good form accuracy because this is directly related to their optical performance. As the size of the display increases, it is very difficult to maintain a high relative accuracy because of the inherent geometric errors such as the waviness of a large-area plate. In this paper, the optical effect of these geometric errors is investigated, and surface-referenced micro-grooving to measure and compensate for such geometric errors on line is proposed to improve the form accuracy of the micro-grooves. A PZT-based fast depth adjustment servo system is implemented in the tool holder to maintain a uniform groove depth in reference to the wavy surface. Through experiments, the proposed method is shown to be an efficient way to produce high-quality micro- grooves on a wavy die surface.
목차
ABSTRACT
1. Introduction
2. The effect of micro-groove form accuracy on optical performance
3. Surface-referenced micro grooving system
4. Experiments on surface-referenced micro-grooving
5. Conclusions
References
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