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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2014.7
- 수록면
- 595 - 600 (6page)
이용수
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충돌시 부서져 사라지는 승화성 나노 탄환입자로 표면 위에 붙어있는 고체 나노입자를 가격하는 과정에서 탄환입자로부터 목표입자로의 운동에너지 전달특성을 분자동역학 전산모사 방법을 이용하여 해석하였다. 탄환입자는 이산화탄소로 이루어져있으며 탄환의 크기, 온도 및 발사속도를 바꿔가며 전산모사를 수행하였다. 탄환입자로부터 목표입자에 전달되는 운동에너지 전달비율은 탄환 속도와 크기에 관계없이 일정하였지만 탄환의 온도에 따라 민감하게 변하였는데, 이는 온도에 따른 탄환입자의 결합력의 변화에서 기인하는 것이었다. 동일조건의 아르곤 탄환에 비하여 이산화탄소 탄환의 에너지 전달효율은 약 2 배 정도이며, 여기에서 이산화탄소 탄환의 높은 세정성능이 비롯됨을 최초로 확인하였다.
목차
초록
Abstract
1. 서론
2. 계산 방법
3. 결과
4. 결론
참고문헌(References)
참고문헌 (18)
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1. [인터넷자원] - SEMATECH / / International Technology Roadmap for Semiconductors:2011 Yield Enhancement Report and Ttable
2. [학술지(정기간행물)] - Bakhtari, K / 2006 / Experimental and Numerical Investigation of Nanoparticle Removal Using Acoustic Streaming and the Effect of Time / Journal of the Electrochemical Society 153 (9) : G846 ~ G850
3. [학술지(정기간행물)] - Lim, H / 2005 / Correlation Between Particle Removal and Shock-Wave Dynamics in the Laser Shock Cleaning Process / Journal of Applied Physics 97 (5) : 054903 ~ 054908
4. [학술지(정기간행물)] - Lin, H / 2007 / Damage-Free Cryogenic Aerosol Clean Processes / Semiconductor Manufacturing, IEEE Transactions on 20 (2) : 101 ~ 106
5. [단행본] - Rimai, D.S / 2001 / Fundamentals of Particle Adhesion / Global Press
2. [학술지(정기간행물)] - Bakhtari, K / 2006 / Experimental and Numerical Investigation of Nanoparticle Removal Using Acoustic Streaming and the Effect of Time / Journal of the Electrochemical Society 153 (9) : G846 ~ G850
3. [학술지(정기간행물)] - Lim, H / 2005 / Correlation Between Particle Removal and Shock-Wave Dynamics in the Laser Shock Cleaning Process / Journal of Applied Physics 97 (5) : 054903 ~ 054908
4. [학술지(정기간행물)] - Lin, H / 2007 / Damage-Free Cryogenic Aerosol Clean Processes / Semiconductor Manufacturing, IEEE Transactions on 20 (2) : 101 ~ 106
5. [단행본] - Rimai, D.S / 2001 / Fundamentals of Particle Adhesion / Global Press
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