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저자정보
김미소 (한국표준과학연구원) 조승현 (한국표준과학연구원) 장강원 (세종대학교) 이승석 (한국표준과학연구원) 박익근 (서울과학기술대학교)
저널정보
한국비파괴검사학회 비파괴검사학회지 비파괴검사학회지 제34권 제3호
발행연도
2014.6
수록면
233 - 240 (8page)

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나노/마이크로 소자의 개발이 활발해짐에 따라 나노/마이크로 박막의 기계적 물성의 정밀 측정에 대한 필요성이 점차 커지고 있다. 기존의 파괴적인 방법의 한계를 극복하기 위한 방법으로, 유도초음파를 이용한 비파괴적인 박막 물성 방법에 대한 관심이 늘어나고 있다. 유도초음파를 이용하여 박막의 물성을 측정하는 실험을 설계하거나, 물성 측정에 대한 실험 결과를 이해하는데 있어 박막의 분산선도를 이해하는 것은 필수적이라 할 수 있다. 본 연구에서는, 전달 행렬법을 이용하여 박막의 분산선도를 계산하는 방법을 제시하고, 이를 금속 박막에 적용하여 그 특성을 관찰하였다. 전달 행렬법을 이용하여 다층판에서의 주파수에 따라 유도초음파가 전파하는 속도를 계산하여 상용 프로그램과 비교하여 그 타당성을 확인하였다. 이러한 방법을 Si 기판 위에 증착된 Al 금속 박막에 적용하여 얻은 분산곡선의 분석을 통해, 박막의 두께 조건에 따른 모드와 분산 및 비분산 특성이 나타나는 구간을 관찰할 수 있었다.
#유도초음파 #금속 박막 #분산 특성 #전달 행렬 #Guided Wave #Ultrasonics #Thin Films #Dispersion #Transfer Matrix

목차

초록
Abstract
1. 서론
2. 다층박막 분산곡선
3. 계산 적용 및 분석
4. 결론
참고문헌

참고문헌 (12)

참고문헌 신청
1. [학술지(정기간행물)] - 이동진 / 2012 / 유도초음파 분산 특성을 이용한 박판의 탄성계수 측정 / 비파괴검사학회지 32 (1) : 41 ~ 46 dbpia 2. [학술지(정기간행물)] - Y. C. Lee. / 1995 / Acoustic microscopy measurement of elastic constants and mass density / IEEE Trans. Ultrason. Ferroelec. Freq. Contr. 42 : 253 ~ 264 google schola 3. [학술지(정기간행물)] - D. Xiang. / 1996 / The design, construction and application of a large aperture lens-less line-focus PVDF transducer / Ultrasonics 34 : 641 ~ 647 google schola 4. [학술지(정기간행물)] - M. Radovic. / 2004 / Comparison of different experimental techniques for determination of elastic properties of solids / Materials Science and Engineering A368 : 56 ~ 70 google schola 5. [학술지(정기간행물)] - C. M. Hernandez. / 2002 / Photoacoustic characterization of the mechanical properties of thin films / Appl. Phys. Lett. 80 (4) : 691 ~ 693 google schola

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